Địa chỉ trang web mới nhất:

Học viện Vi điện tử, Đại học Tỉnh Sú.

“Cho hỗn hợp hexamethyldisilazane vào…”

“Quá trình loại bỏ nước khỏi tấm silicon đã hoàn tất, quá trình tăng độ nhớt cũng đã xong; bắt đầu công đoạn phủ keo bằng cách xoay tấm silicon.”

“…”

Đây đã là lần thứ không biết bao nhiêu họ tiến hành quy trình thí nghiệm này rồi. Ngoại trừ những lời báo cáo định kỳ từ các nhân viên vận hành, môi trường trong phòng thí nghiệm yên tĩnh đến lạ thường.

Hàng chục nhà nghiên cứu đều kiên trì đảm nhận nhiệm vụ của mình, thỉnh thoảng ngẩng đầu nhìn xem thiết bị đang hoạt động như thế nào, cũng như người đàn ông già đang đứng ở giữa bàn điều khiển.

“Kiểm tra quá trình phủ keo đã hoàn tất; không phát hiện ra bất kỳ bong bóng nào. Bắt đầu quá trình sấy trước khi chiếu ánh sáng…”

“Quá trình sấy trước đã hoàn tất; máy khắc quang đang được chuẩn bị để chiếu ánh sáng…”

Trong khi quá trình thí nghiệm diễn ra một cách có trật tự, cuối cùng họ cũng đến giai đoạn chiếu ánh sáng.

Mỗi lần bước vào giai đoạn này, khoảng thời gian ngắn ngủi chỉ có mười giây lại khiến Ngô Lợi Hồng cảm thấy như một thế kỷ trôi qua…

Và trong quá trình chiếu ánh sáng, các thiết bị đo lường được lắp đặt trên bàn làm việc cũng đang thu thập dữ liệu một cách liên tục.

“Chiếu ánh sáng đã kết thúc; bước vào giai đoạn sấy sau. Dữ liệu chiếu ánh sáng đang được phân tích…”

“Lượng khí sản sinh ra trong quá trình chiếu ánh sáng…” Nhà nghiên cứu báo cáo kết quả dừng lại một chút, rồi run rẩy đọc ra con số: “289 nanomet khối!”

Vào buổi chiều –!

Nghe thấy kết quả này, toàn bộ phòng thí nghiệm bỗng nhiên trở nên yên tĩnh, sau đó là những tiếng reo lên ngạc nhiên.

“Thật không ngờ, vấn đề nằm ở nhóm phân tử BR trên cấu trúc của chất phủ keo quang này!”

“Ngô Giáo sư thật là tuyệt vời!”

“…”

Mặc dù dữ liệu chi tiết về quá trình sấy sau vẫn chưa được công bố, nhưng chỉ riêng con số lượng khí sản sinh ra này đã có thể coi là một bước đột phá chưa từng có!

Chất phủ keo quang được phủ trên tấm silicon kích thước 12 inch, và trong quá trình chiếu ánh sáng, chỉ có 289 nanomet khối khí được tạo ra.

Với lượng khí sản sinh ra nhỏ như vậy, rõ ràng các mép của lớp keo quang sau khi chiếu ánh sáng sẽ rất nhẵn và phẳng.

Điều này có nghĩa là độ phân giải sẽ cao hơn, và quy trình sản xuất cũng sẽ đơn giản hơn.

Có thể nói, họ đã hoàn toàn giải quyết được vấn đề nan giải nhất liên quan đến lượng khí sản sinh ra khi sử dụng chất phủ keo quang!

Nghe thấy con số này, khuôn mặt Ngô Lợi Hồng cũng không khỏi nở nụ cười nhẹ nhõm, nhưng điều đ

Tiếp theo là phần phân tích độ rõ nét của hình ảnh mạch điện – yếu tố quan trọng nhất trong giai đoạn thí nghiệm này.

Kết quả phân tích cuối cùng cũng hoàn toàn như họ dự đoán: sau khi giảm lượng khí sản sinh xuống 98%, lớp màng bảo vệ mạch điện mà họ thu được có bề mặt rất nhẵn và phẳng, không hề xảy ra hiện tượng sụp đổ hay biến dạng!

“Độ dày màng bình thường, độ chính xác trong quá trình khắc cũng bình thường!”

Nghe được kết quả này, mọi người đều vô cùng hào hứng và nhìn về phía Ngô Lợi Hồng.

Thực tế, khi thí nghiệm đã tiến đến giai đoạn này, họ gần như có thể chắc chắn rằng loại chất liệu quang khắc EUV mà họ phát triển đã đáp ứng được tiêu chuẩn công nghệ 13,5 nanomet.

Bởi vì toàn bộ nỗ lực của nhóm nghiên cứu vi điện tử tỉnh Súc đều được tập trung vào việc phát triển loại chất liệu này; họ ít nghiên cứu về các công nghệ sản xuất tiết kiệm chi phí như quá trình phơi nhiễm đa lần, nên 13,5 nanomet chỉ là tiêu chuẩn công nghệ tối thiểu mà họ đạt được.

Để xác nhận chính xác khả năng ứng dụng của loại chất liệu này, họ cần liên hệ với công ty Silic mỏng Thành Thịnh hoặc công ty Lương Vĩ để tiến hành thêm các thử nghiệm. Đặc biệt là công ty Silic mỏng Thành Thịnh – nơi đầu tiên sở hữu máy quang khắc EUV – sau vài tháng nghiên cứu và điều chỉnh, họ đã đưa công nghệ sản xuất lên mức 5 nanomet.

Tuy nhiên, để đảm bảo an toàn, Ngô Lợi Hồng vẫn kiềm chế cảm xúc hào hứng của mình và yêu cầu mọi người: “Hãy ngay lập tức chuẩn bị cho các thử nghiệm khắc để xác nhận lại một lần nữa; chỉ khi mọi thứ đều ổn thỏa mới gửi chất liệu này đến công ty Silic mỏng Thành Thịnh.”

“Rõ rồi!”

Nghe lời này, các nhà nghiên cứu lại bắt đầu làm việc tích cực.

Theo quy trình thí nghiệm trước đây của họ, việc đạt đến giai đoạn này thường đồng nghĩa với sự thất bại; lần này, họ thậm chí chưa kịp chuẩn bị đầy đủ cho giai đoạn khắc.

Nhưng trước một tin vui bất ngờ lớn lao như vậy, không ai than phiền về việc phải làm thêm giờ; mọi người đều nhanh chóng bắt tay vào chuẩn bị lại các thử nghiệm.

Hai giờ sau, kết quả cuối cùng cũng được công bố.

Loại chất liệu quang khắc mà họ phát triển đã thành công trong việc chịu đựng được tác động của các hạt có năng lượng cao trong quá trình khắc khô, hoàn thành tốt nhiệm vụ bảo vệ bề mặt wafer silicon; tỷ lệ chip đạt tiêu chuẩn lên tới 98%!

Dưới sự dẫn dắt của giáo sư Ngô Lợi Hồng, các nhà nghiên cứu vi điện tử của đại học tỉnh Súc cuối cùng cũng đã thành công trong việc phát triển một loại chất liệu quang khắc

Ngô Lợi Hồng cũng rất bình tĩnh, không vội vàng báo cáo kết quả thí nghiệm ngay lập tức, mà yêu cầu các nhà nghiên cứu tái pha chế lại một lô chất liệu quang khắc theo công thức trước đó.

Sau đó, họ tiến hành thực hiện tổng cộng mười lần thí nghiệm, và chỉ khi xác nhận rằng sai số của kết quả mỗi lần đều nằm trong phạm vi chấp nhận được, họ mới mang theo chất liệu quang khắc cùng với các kỹ sư chủ chốt của nhóm bay đến Thành phố Ma, đến Tập đoàn Công nghiệp Silicon Thành phố Shen.

Lúc này, Chủ tịch Tập đoàn Công nghiệp Silicon Thành phố Shen là ông Chen Yunming đang có cuộc thảo luận với Hoa Vĩ, Ông Dư và ông He về vấn đề gia công chip P6 của Hoa Vĩ.

Trọng tâm của cuộc thảo luận giữa hai bên chính là vấn đề về sản lượng và chi phí.

Hoa Vĩ, dựa trên nguyên tắc “số lượng lớn thì giá rẻ”, muốn đặt hàng trực tiếp 20 triệu viên chip Qi Ling 9000.

Nhưng hiện tại, Tập đoàn Công nghiệp Silicon Thành phố Shen chỉ có duy nhất một máy quang khắc Qin Guang số một.

Nếu tính theo khả năng xử lý của máy Qin Guang số một – 180 tấm wafer mỗi giờ, và mỗi tấm wafer có thể cắt ra 500 viên chip, thì một máy quang khắc có thể sản xuất được 2,16 triệu viên chip mỗi ngày.

Tuy nhiên, thực tế thì khả năng xử lý của máy quang khắc không đồng nghĩa với tốc độ sản xuất wafer; việc sản xuất wafer còn phụ thuộc vào thiết kế của từng loại chip, cũng như quy trình phơi xạ và etch nhiều lần.

Ví dụ, chip Qi Ling 9000 cần trải qua tới 19 chu kỳ quang khắc-etch mới hoàn thành toàn bộ quy trình sản xuất wafer.

Điều này có nghĩa là về mặt lý thuyết, mỗi ngày chỉ có thể sản xuất được 110.000 viên chip.

Và điều này còn phải dựa trên giả định rằng thiết bị hoạt động liên tục 24 giờ mà không cần nghỉ ngơi hay bảo trì, đồng thời tỷ lệ thành phẩm phải đạt 100%.

Do đó, năng suất thực tế trung bình mỗi ngày chỉ khoảng 80.000 viên chip, đã là một con số khá tốt rồi.

Đơn hàng 20 triệu viên chip sẽ mất gần tám tháng mới có thể hoàn thành, và điều này còn phải dựa trên việc sử dụng toàn bộ năng lực sản xuất của họ cho Hoa Vĩ.

Hơn nữa, với mức độ hoạt động cao như vậy, nguồn hàng chất liệu quang khắc của họ còn không biết có đủ để đáp ứng nhu cầu hay không…

“…Chúng tôi cũng cần xem xét đến vấn đề chi phí, và cũng cần thời gian để nghiên cứu và phát triển công nghệ sản xuất chip 3nm. Hy vọng các bạn cũng có thể thông cảm với khó khăn của chúng tôi.”

Chen Yunming thực sự không thể chịu đựng nổi sự thuyết phục kiên nhẫn của hai vị giám đốc này, và cuối cùng đã quyết định:

“Thôi thì như này đi, tôi sẽ đ

“Ừm…”

Ông Dư lập tức tính toán trong đầu.

Nếu tính theo quy trình sản xuất 5 nanomet của TSMC với giá 13.400 đô la Mỹ mỗi wafer, thì chi phí gia công mỗi chip 5 nanomet sẽ vào khoảng 187 nhân dân tệ.

Nhưng TSMC tính phí dựa trên số lượng wafer; ngay cả những wafer bị hỏng cũng được tính tiền. Trong khi đó, Chen Yunming vừa báo cáo giá thành của từng chip riêng lẻ, tức là đã loại bỏ chi phí cho những wafer không thể sử dụng được. Vì vậy, mức chi phí gia công từ 150 đến 200 nhân dân tệ này thực sự là rất hợp lý trong tình hình hiện tại.

“Nhưng ông Chen, việc mua sắm này không thể cứ càng nhiều thì giá càng cao được chứ…”

“Đây là trường hợp đặc biệt mà. Nếu trước khi nguyên liệu quang khắc nhập khẩu được cung cấp, nguyên liệu quang khắc sản xuất trong nước vẫn chưa có tin tức gì, thì dù chúng ta có máy quang khắc đi nữa cũng không thể sử dụng được. Chúng ta chỉ có thể tiết kiệm chi phí một chút thôi…”

“Thực ra còn một cách nữa, đó là chúng ta có thể xin Kháng Tiến sĩ cho mượn một ít nguyên liệu quang khắc. Thằng bé đó rất khôn ngoan; nó đã sớm nhờ chúng ta giúp nó dự trữ nguyên liệu quang khắc rồi. Bây giờ, công ty Dahan Chip Industry còn dự trữ nhiều hơn cả chúng ta nữa!”

Mỗi lần nghĩ đến điều này, Chen Yunming lại hơi hối tiếc vì lúc đó mình không nghe theo lời khuyên của Kháng Trì và không dự trữ nguyên liệu quang khắc sớm hơn.

Chủ yếu là vì lúc đó, ai có thể ngờ rằng Kháng Trì sẽ nhanh chóng phát triển thành công máy quang khắc EUV như vậy…

Khi Ông Dư vẫn đang suy nghĩ xem 6 triệu chiếc chip đó có thể duy trì được trong bao lâu, thì Chen Yunming bỗng nhiên nhận được cuộc gọi từ Ngô Lợi Hồng.

“Ngô Giáo sư ạ? Khoan đã… Cậu nói gì cơ? Nguyên liệu quang khắc để thử nghiệm đã đến dưới lầu rồi à?!”

“….”

Sau khi cúp máy, Chen Yunming mất một lúc mới bình tĩnh lại, rồi vội vàng gọi điện cho Đổng Kiến Nguyên yêu cầu anh ta xuống đón Ngô Lợi Hồng.

Sau khi hoàn tất những việc đó, anh ta quay sang hai giám đốc của Hoa Vĩ và nói với vẻ hào hứng: “Người cứu chúng ta đã đến rồi!”