Địa chỉ trang web mới nhất:

Công nghệ cốt lõi của máy khắc quang EUV chủ yếu bao gồm ba hệ thống chính.

Đầu tiên là hệ thống nguồn sáng EUV, hệ thống này có nhiệm vụ tạo ra loại ánh sáng đặc biệt cần thiết trong quá trình khắc quang.

Từ thế hệ máy khắc quang UV đầu tiên đến thế hệ EUV thứ năm, bước sóng của ánh sáng đã giảm từ 436nm xuống còn 13.5nm. Hiện nay, mọi loại máy khắc quang đều được phân loại dựa trên độ dài bước sóng của ánh sáng.

Nguyên lý cơ bản liên quan đến điều này chính là mối quan hệ giữa bước sóng ánh sáng và độ rõ nét trong quang học.

Lý do đơn giản nhất là khi bước vào căn phòng có đèn tungsten màu vàng, hầu hết mọi người đều cảm thấy ánh sáng mờ ảo; dù thêm vài bóng đèn nữa, ánh sáng vẫn không sáng và rõ nét bằng đèn LED màu trắng.

Điều này là bởi vì bước sóng của ánh sáng màu vàng cao hơn nhiều so với ánh sáng màu trắng. Bước sóng ánh sáng giống như những con sóng lớn; sóng càng lớn, mức độ dao động của nước khi va vào đê biển cũng sẽ càng lớn. Trong lĩnh vực quang học, sự dao động này chính là yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến độ rõ nét của các đường viền bóng tối.

Do đó, để sản xuất ra các chip với quy trình sản xuất siêu nhỏ, chúng ta cần ánh sáng có bước sóng càng ngắn càng tốt, càng gần với đường thẳng tuyệt đối thì càng tốt.

Về công nghệ nguồn sáng EUV, theo những thông tin mà Kháng Trì có thể tìm hiểu được, công ty Changchun Guang ở trong nước cũng đã gần đạt được bước đột phá, nhưng cụ thể họ đã đạt đến mức độ nào thì Kháng Trì cũng không rõ.

Anh ấy dự định sẽ thử tìm hiểu tình hình trước; nếu điều kiện cho phép và giá cả hợp lý, anh ấy có thể sẽ trực tiếp mua hàng từ họ. Ngay cả khi công nghệ chưa đạt tiêu chuẩn, việc mua về rồi tự cải tiến, tối ưu hóa cũng có thể giúp tiết kiệm rất nhiều thời gian và công sức.

Dù sao thì một chiếc máy khắc quang cũng gồm có hàng trăm nghìn linh kiện; nếu Đại Tang Công Nghiệp Phụ Tùng tự mình sản xuất tất cả những linh kiện này, thì sẽ mất rất nhiều thời gian. Việc mua hàng từ họ không chỉ không lãng phí thành quả nghiên cứu khoa học của họ mà còn có thể tận dụng được năng lực sản xuất của họ, coi như là một sự cùng có lợi.

Vì vậy, lần này, Kháng Trì không loại trừ khả năng mình sẽ đóng vai trò trong việc lắp ráp, điều chỉnh và cải tiến máy khắc quang. Thay vì sử dụng ngành công nghiệp hoàn chỉnh như Hoa Quốc, lại tự mình thực hiện từng công đoạn nhỏ, không chỉ lãng phí nguồn lực và nền tảng tố

Và chỉ có một quốc gia trên thế giới duy nhất có khả năng sử dụng chuỗi sản xuất trong nước để chế tạo tất cả các bộ phận cấu thành một máy in ăn mòn quang, đó chính là Hoa Quốc. Ngay cả đối với nước Mỹ cũng không thể làm được điều này. Họ không thể tìm đủ các nhà cung cấp linh kiện cho máy in ăn mòn quang chỉ từ trong nước mình; họ cần sự hợp tác của nhiều quốc gia trên toàn thế giới. Chi phí tổ chức và phối hợp nguồn lực lớn lao này chính là một trong những lý do khiến nhiều sản phẩm của Hoa Quốc có giá thành thấp hơn đáng kể so với các nhà sản xuất nước ngoài. Nói chung, dù Kháng Trì có đạt được tiến bộ trong công nghệ nguồn sáng EUV hay không, họ vẫn có thể tận dụng khả năng nghiên cứu và sản xuất của họ để nhanh chóng xây dựng một hệ thống nguồn sáng phù hợp. Bây giờ khi đã có nguồn sáng cần thiết, bước tiếp theo là sử dụng một hệ thống quang học để thu thập và chiếu ánh sáng lên tấm silicon đã được phủ lớp chất ăn mòn quang. Hệ thống quang học này chiếm tỷ trọng chi phí lớn nhất trong toàn bộ cấu trúc của máy in ăn mòn quang. Kháng Trì dự định nâng cấp dây chuyền sản xuất ống kính của công ty Đại Tần Quang Học, sau đó lấy các thiết bị cần thiết để chế tạo ống kính và gương phản xạ cho máy in ăn mòn quang. Cách làm này chắc chắn sẽ giúp tăng hiệu suất rất nhiều, và dây chuyền sản xuất sau khi được nâng cấp có lẽ thậm chí không cần phải qua quá trình nghiên cứu lại, bởi vì hầu hết các công nghệ liên quan đã được Kháng Trì tích lũy trong quá trình phát triển máy in ăn mòn quang trước đó; họ có rất nhiều không gian để cải tiến và áp dụng chúng. Điểm trừ duy nhất là họ sẽ cần phải sử dụng một số biện pháp để che giấu việc sử dụng các bộ phận này trong dự án, sao cho người khác không hề nhận ra. À, đó chính là việc lợi dụng sự thiếu hiểu biết của Nghiêm Huỳnh về máy in ăn mòn quang; lúc đó, họ có thể yêu cầu Nghiêm Huỳnh làm bất cứ điều gì mà họ muốn, mà Nghiêm Huỳnh cũng không có nhiều lựa chọn để suy nghĩ. Về hệ thống then chốt cuối cùng của máy in ăn mòn quang, đó chính là hệ thống hai bàn làm việc dùng để đặt tấm silicon. Prinzip hoạt động của nó rất đơn giản: di chuyển liên tục vị trí cần chiếu sáng trên tấm silicon trong quá trình in ăn mòn, nhưng công nghệ sử dụng trong hệ thống này thực sự rất phức tạp. Bởi vì bàn làm việc này phải hoạt động nhanh, chính xác và hiệu quả.

Tốc độ quyết định hiệu suất của máy khắc quang; nếu chuyển động quá chậm, sản lượng của máy khắc quang sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Điều này đòi hỏi rằng sau khi di chuyển với tốc độ cao, máy phải dừng lại một cách nhanh chóng và chính xác; sai số vị trí khi dừng không được vượt quá 1nm. Chỉ cần có sự chênh lệch nhỏ thôi, toàn bộ tấm wafer cũng sẽ bị hủy hoại!

Ý tưởng này giống như việc một chiếc xe hơi đang chạy với tốc độ cao bỗng nhiên phanh gấp, và vị trí khi dừng không được vượt quá 1mm. Tuy nhiên, vào tháng 5 năm nay, Viện Công nghệ Hafnium đã giải quyết được vấn đề này. Họ đã phát triển thành công thiết bị giao thoa laser siêu tinh xảo trong chân không, với độ phân giải vị trí lên tới 5pm và sai số kiểm soát chỉ 30pm! Cần biết rằng 1000pm mới bằng 1nm thôi… Sai số vị trí chỉ 0.03nm thực sự là một thành tựu đáng kinh ngạc!

Kháng Trì thật sự nghi ngờ liệu họ có sử dụng những “phương tiện đặc biệt” để đạt được điều này hay không… Nói thật, Hoa Quốc có rất nhiều người tài năng; nếu không có hệ thống hỗ trợ, dù Kháng Trì cũng có thể tự mình giải quyết được vấn đề này, nhưng sẽ mất rất nhiều thời gian. Vì vậy, Kháng Trì luôn nhắc nhở bản thân rằng, mặc dù hệ thống rất hữu ích, nhưng việc tự học và hiểu biết sâu rộng vẫn là điều cần thiết. Điều này không chỉ giúp giảm bớt áp lực khi giải quyết các vấn đề kỹ thuật, mà còn đảm bảo rằng nếu sau này cần tự phát triển các công nghệ mới, mình vẫn có đủ kiến thức để thực hiện.

Nói chung, hầu hết các khó khăn kỹ thuật liên quan đến máy khắc quang EUV đã được Hoa Quốc giải quyết hoặc đang trên đường được giải quyết; tuy nhiên, việc có thể tái hiện và áp dụng chúng vào sản xuất hàng loạt vẫn còn là điều chưa chắc chắn. Để tìm ra câu trả lời, Kháng Trì đã gọi điện cho Lãnh đạo Lý. Khi nghe Kháng Trì hỏi về vấn đề máy khắc quang, Lãnh đạo Lý lập tức tỏ ra hứng thú và hỏi ngay: “Bạn định nghiên cứu và phát triển máy khắc quang à?”

“Ừ, tôi có ý định đó.”

“Phát triển máy khắc quang thật tuyệt vời! Nhưng bạn đang bận rộn với việc sản xuất hàng loạt các thiết bị khai thác dầu mỏ, làm sao có thời gian và nguồn lực để nghiên cứu máy khắc quang chứ?”

“Tôi tranh thủ thời gian rảnh rỗi để làm thôi…”

“……”

Sau đó, trong sự im lặng của Lãnh đạo Lý, Kháng Trì tiếp tục hỏi về tình hình nghiên cứu hệ thống nguồn sáng EUV của Chang Chunguang và hệ thống hai bàn làm việc kép của Đại học Công nghệ Hafnium.

“Ừm… Họ thực sự đã đạt được một số bước tiến nhất định, nhưng cụ thể là đạt được những thành tựu kỹ thuật nào, và còn bao lâu nữa mới có thể áp dụng thực tế, tôi cũng không chắc lắm… Bạn có thể hỏi Giáo sư Trương xem, ông ấy hiểu rõ hơn về vấn đề này.”

Vì vậy, sau khi nghe xong cuộc gọi, Kháng Trì lại gọi điện cho Trương Đạt Viễn.

Kết quả là, khi nghe thấy câu hỏi của Kháng Trì, Trương Đạt Viễn ngay lập tức nói rằng không thể trao đổi rõ ràng qua điện thoại, và yêu cầu Kháng Trì đến Yên Kinh để gặp mặt trực tiếp.

Kháng Trì hoài nghi rằng ông già này trên trang web www.uukanshu.net chỉ muốn lừa mình đến đó, để thuyết phục mình tham gia vào dự án nguồn sáng vi tụ hợp ổn định đó.

Nhưng vì muốn rút ngắn thời gian nghiên cứu và phát triển máy in ăn mòn, Kháng Trì cũng đành phải đồng ý…

Dù sao thì khi đến nơi, dù Trương Đạt Viễn nói gì, Kháng Trì cũng sẽ không tham gia vào dự án đó đâu; ông ta có thể bắt giữ Kháng Trì được sao?

……

Sau hơn hai giờ bay, Kháng Trì đã đến Sân bay Quốc tế Yên Kinh trước khi trời tối.

Người đến đón anh ấy là đồng nghiệp của Trần Hải. Sau khi gặp nhau, ba người đã cùng nhau đi thẳng đến bộ phận HEPS.

Trải qua nhiều khâu kiểm tra an ninh và thủ tục báo cáo, Kháng Trì cuối cùng cũng đến được bên trong bộ phận, nơi ông thấy Trương Đạt Viễn – người đang đội mũ bảo hiểm và mặc quần áo giống như công nhân xây dựng.

Nhìn thấy người đàn ông gần bảy mươi tuổi này vẫn còn năng động và tích cực tham gia vào các công trình thí nghiệm, Kháng Trì không khỏi cảm thán.

“Giáo sư Trương, lâu lắm rồi không gặp.”

Ngay khi gặp nhau, Kháng Trì đã chủ động bắt tay ông ấy và khen ngợi: “Thật là ông vẫn còn tràn đầy năng lượng!”

“Tất nhiên rồi.” Trương Đạt Viễn tự hào dẫn Kháng Trì đi, “Đi thôi, để tôi dẫn bạn tham quan trước.”

Trước sự nhiệt tình của Trương Đạt Viễn, Kháng Trì cũng không thể từ chối được.

Hơn nữa, bản thân anh ấy cũng rất tò mò về nơi này, vì vậy anh ấy đã theo Trương Đạt Viễn đi thăm quanh khu vực đang được xây dựng này.

Chương trước suýt nữa bị loại bỏ vì có nội dung quá chi tiết và gần với sự thật… May mắn thay, sau khi sửa đổi, nó đã được đăng tải.

Có lẽ nếu viết quá chi tiết và