Nguồn sáng EUV, tức là ánh sáng tia cực tím sâu với bước sóng 13,5 nanomet, chính là yếu tố then chốt để thực hiện công nghệ “khắc chếp mạch điện siêu tinh xảo”, và nó trực tiếp quyết định độ rộng dây mạch nhỏ nhất, mức độ tích hợp và hiệu suất tối đa của chip.

Chỉ cần một lần phơi sáng, bản thiết kế mạch trên mặt nạ khắc chếp đã có thể được sao chép lên bề mặt wafer.

Trong khi đó, các máy khắc chếp bằng tia DUV truyền thống lại cần phải sử dụng phương pháp “phơi sáng nhiều lần” mới có thể tạo ra các đường mạch tinh xảo cần thiết cho chip.

Cụ thể, việc này đòi hỏi phải thực hiện từ 2 đến 4 lần quá trình khắc chếp và phát triển trên cùng một vùng cần khắc chếp, và chỉ sau đó kết quả thu được mới tương đương với mức độ mà máy khắc chếp EUV có thể đạt được trong một lần phơi sáng.

Máy khắc chếp DUV NXT 1950i mà Lương Kình Tùng đã mua từ các công ty Großmann & Schumann và UMC dù cũng có thể sản xuất chip với kích thước 14 nanomet hoặc thậm chí 10 nanomet, nhưng vẫn phải sử dụng quy trình phơi sáng nhiều lần.

Tuy nhiên, việc phơi sáng nhiều lần sẽ làm tăng số lượng các bước trong quá trình khắc chếp, kéo dài chu kỳ sản xuất, làm giảm đáng kể tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn và làm tăng chi phí sản xuất, ít nhất là từ 30% đến 50%.

Đây cũng chính là lý do tại sao ASML có thể kiểm soát chặt chẽ ngành công nghiệp semiconductors, miễn là họ không bán máy khắc chếp EUV cho các nhà máy Fab của Hoa Quốc.

Ngay cả khi các công ty khác nắm giữ được những công nghệ then chốt khác, họ vẫn sẽ gặp phải rào cản về chi phí sản xuất cao, từ đó mà mất đi giá trị thương mại và sức cạnh tranh trên thị trường.

Lấy ví dụ về cùng một loại chip, Qualcomm vẫn có thể kiếm được lợi nhuận khi bán với giá 20 đô la Mỹ, nhưng các nhà sản xuất chip trong nước nếu bán với cùng mức giá đó thì sẽ thua lỗ khoảng 30%.

Trước sự chênh lệch lớn về chi phí và lợi nhuận như vậy, các bên mua hàng tự nhiên sẽ không muốn chi trả.

Phương pháp kích thích bằng sự phóng điện dưới sự kiểm soát của từ trường mà Trần Diên Sâm đề xuất đã loại bỏ giải pháp sử dụng tia laser để tấn công kim loại lỏng chì nhằm tạo ra ánh sáng tia cực tím sâu, thay vào đó chúng ta sử dụng kỹ thuật tạo ra plasma ổn định và có độ sáng cao trên bề mặt mục tiêu bằng kim loại chì thông qua quá trình phóng điện xung cao công suất dưới sự kiểm soát của từ trường mạnh.

Những ưu điểm của phương pháp này là rõ ràng: việc sử dụng vật liệu mục tiêu rắn kết hợp với quá trình phóng điện cao áp giúp cho cấu trú

Sau khi nghe báo cáo của Lâm Nam, Trần Diên Sâm lập tức ra lệnh:

“Tại sao Qualcomm lại thất bại như vậy?”

“Chẳng phải là vì họ đã đặt ra những rào cản bằng bằng sáng chế trong các lĩnh vực như tần số vô tuyến và giải mã thông tin liên lạc sao? Điều đó đã chặn đứng con đường phát triển của họ.”

“Nếu không, Paul Jacob có thể sẵn lòng ký thỏa thuận cấp phép bằng sáng chế chéo với công ty Thiên Công Khoa Học hay sao?”

“Đừng mơ tưởng nữa!”

“Những con đường mình đã đi, tất nhiên phải được chặn lại!”

“Anh ta không muốn một ngày nào đó, có một công ty nào đó bất ngờ xuất hiện và kiện công ty Tinh Nguyên Khoa Học vi phạm bằng sáng chế đâu.”

“Vâng, ông chủ, tôi hiểu rõ tầm quan trọng của việc xây dựng những rào cản bằng sáng chế,” Lâm Nam ngay lập tức đáp lại.

Ông là một kỹ sư cao cấp tại Viện Nghiên cứu Cơ khí Quang học Chính xác Thành phố Hồ, và có tiếng trong ngành.

Trước đó, khi công ty Tinh Nguyên Khoa Học hợp tác với Viện Quang điện thuộc Hiệp hội Hoá Khoa để thực hiện các dự án nghiên cứu, Hồ Ruì Hoài đã giới thiệu Lâm Nam cho Trần Diên Sâm.

Trần Diên Sâm sẵn lòng chi tiền và cung cấp thiết bị cần thiết, thật sự là một người giàu có và hào phóng.

Lâm Nam đã gắn bó với viện nghiên cứu suốt hơn mười năm, nhưng khi thấy các nhà nghiên cứu ở các công ty tư nhân đã giành được Giải Nobel Hóa học, ông không thể ngồi yên được nữa.

Sau khi nhận được lời mời từ Trần Diên Sâm, ông không do dự mà gia nhập phòng thí nghiệm nghiên cứu quang học của công ty Tinh Nguyên Khoa Học, cùng với các nhà khoa học hàng đầu tại Viện Quang điện, cùng nhau tìm kiếm những phương pháp mới để tạo ra nguồn sáng EUV có thể được ứng dụng thương mại.

Ban đầu, họ không đạt được bất kỳ tiến triển nào, cho đến khi Trần Diên Sâm đưa ra một hướng đi đầy tính sáng tạo.

Đó là sử dụng “trường điện từ” thay vì “tia laser” để kích thích và kiểm soát plasma; đặt một chuỗi nam châm siêu dẫn xung quanh khu vực phát điện để tạo ra một cấu hình từ trường đặc biệt.

Trước tiên, sử dụng dòng điện xung để kích thích plasma, sau đó sử dụng các gương phản xạ đa tầng để thu gom bức xạ có bước sóng 13,5 nanomet, cuối cùng tập trung và phát ra ánh sáng.

Lúc đầu, Lâm Nam không mấy tin tưởng vào ý tưởng này, nhưng sau khi nghiên cứu trong một thời gian, ông nhận ra rằng kế hoạch của ông chủ không chỉ là một ý tưởng viển vông, mà còn có khả năng thực hiện cao.

Sự thật đã chứng minh rằng con đường này là đúng đắn!

“Được, tạm thời thế thôi.”

Trần Diên Sâm nói điện thoại một cách rất bình thản.

Theo ông, công nghệ quang khắc là một hệ thống vô cùng phức tạp; ngoài phần nguồn sáng ra, các thành phần như hệ thống kính viễn vọng, bàn làm việc kép, chất quang khắc cũng đều rất quan trọng.

Việc giải quyết được vấn đề liên quan đến cách kích hoạt nguồn sáng EUV chỉ mới là bước đầu tiên trong hành trình dài.

Mặt khác…

Lâm Nam thầm tự hỏi không biết phải nói gì; biểu cảm của anh ta có phần mất kiểm soát. Thực ra, anh ta rất muốn gọi lại và nói với sếp rằng: “Với công nghệ này, việc giành được Giải thưởng Khoa học và Công nghệ Quốc gia vào năm tới cũng không phải là điều không thể!”

Nhưng sau khi suy nghĩ kỹ, anh ta nhận ra rằng tại công ty Deep Blue Technology, vẫn còn ba người từng đoạt Giải Nobel Hóa học; vì vậy, phản ứng bình thản của sếp cũng là điều dễ hiểu.

Vì “nguồn sáng plasma từ sự phóng điện bị kiểm soát bởi từ trường” là kết quả nghiên cứu chung giữa Star Source Technology và hiệp hội Hoá Khoa, tin tức này nhanh chóng lan truyền khắp giới khoa học trong nước.

Khi Hồ Ruì Hoài biết được thông tin này, anh ta bỗng nhiên đứng dậy, không thể tin nổi.

“Chỉ mới chưa đầy bốn tháng mà đã có kết quả rồi à? Đùa gì thế này?”

Hồ Ruì Hoài đi đi lại lại trong văn phòng, và lần đầu tiên trong đời, anh ta buộc phải sử dụng ngôn từ thô thiển.

Cùng lúc đó, Phòng thí nghiệm Quang học của Đại học Công nghệ Harbin và Viện Cơ khí Quang học Longzhou cũng nhận được tin tức này.

Phản ứng đầu tiên của họ là: “Không thể tin được!”

Nhưng sau khi kiểm tra đi kiểm tra lại nhiều lần, họ buộc phải tin rằng Star Source Technology và Viện Quang điện Yenjing thực sự đã phát triển thành công công nghệ nguồn sáng EUV.

Hơn nữa, họ còn thành công trong việc vượt qua hàng rào bằng các bằng sáng chế do các công ty như ASML, Carl Zeiss, Sơn Tinh, TSMC và Cymer xây dựng.

Hai giờ sau, Lý Thanh Tùng nhận được cuộc gọi từ Hồ Ruì Hoài.

“Trước hết, hãy niêm yết thông tin này ngay lập tức, và yêu cầu các nhân viên thuộc hiệp hội An Quốc ngay lập tức đến Thượng Hải; tất cả những người tham gia quá trình nghiên cứu và phát triển đều phải ký vào biên bản bảo mật.”

Sau khi nhận thức được tầm quan trọng của công nghệ này, khuôn mặt Lý Thanh Tùng lập tức trở nên nghiêm túc, và anh ta ra lệnh cho thư ký bên cạnh mình.

Anh ấy nhìn thấy tia hy vọng cho sự trỗi dậy của các máy khắc quang sản xuất trong nước qua công ty Star Source Technology!

“Được rồi, ông Lý.” Thư ký không dám trì hoãn, lập tức bắt điện thoại liên hệ với hiệp hội An Quốc, để làm rõ danh sách những người cần ký vào biện pháp bảo mật và quy trình phối hợp cụ thể.

Trong khi đó, Lý Thanh Tùng đứng trước cửa sổ kính văn phòng, nhìn ra bầu trời xám xịt của Yên Kinh và bắt đầu suy tư sâu sắc.

Thành tựu công nghệ mà Star Source Technology đạt được trong lĩnh vực nguồn sáng EUV giống như một tiếng sấm, đã xé toạc bức màn u ám trên con đường phát triển những chiếc máy khắc quang do chính họ nghiên cứu và phát triển… Nhưng điều đó cũng đồng nghĩa với việc sẽ có vô số thách thức và rủi ro đang chờ đợi phía trước.

Nếu thông tin này bị rò rỉ, những tập đoàn lớn quốc tế như ASML hay Carl Zeiss chắc chắn sẽ không thể đứng yên; họ có thể sử dụng các vụ kiện bằng sáng chế để trì hoãn tiến độ, liên kết với các nhà cung cấp để gây áp lực, thậm chí có thể sử dụng những lực lượng bên ngoài để can thiệp.

Dù sao thì, ngành công nghệ bán dẫn luôn là cuộc cạnh tranh không chỉ về công nghệ mà còn liên quan đến rất nhiều yếu tố lợi ích khác nhau.

Sự phát triển của Star Source Technology thực sự khiến mọi người ngạc nhiên!

Cùng lúc đó, tại phòng thí nghiệm nghiên cứu quang học của Star Source Technology ở Thành phố Hồ Châu, Lâm Nam đang dẫn đội ngũ tiến hành lần thử nghiệm về độ ổn định thứ ba.

Dữ liệu hiển thị trên màn hình cho thấy: cường độ ánh sáng cực tím có bước sóng 13,5 nanomet đạt trên 92%, hiệu suất chuyển đổi năng lượng là 7,1%, vượt xa so với nguồn sáng LPP mà ASML đang sử dụng.

Con số này đã đạt đến tiêu chuẩn thương mại rồi!

Nhưng phía trước vẫn còn rất nhiều thách thức và điều không chắc chắn.

Chẳng hạn, quá trình phóng điện xung và plasma tạo ra lượng nhiệt lớn; các bộ phận như mục tiêu quay và lớp màng lỏng đều cần hệ thống làm mát mạnh mẽ, nhưng công nghệ quản lý nhiệt hiện tại vẫn chưa đáp ứng được yêu cầu.

Việc mở ra một con đường mới có thể giúp họ giữ lấy thị trường, nhưng tất cả các thiết bị và công nghệ hỗ trợ đều cần phải tự mình tìm tòi và phát triển từ đầu.

Con đường phía trước còn rất dài và gian khó…

……

Vào buổi tối, sau khi tan ca, Trần Diên Sâm không quay về khu biệt thự Delta mà đến sân bay, lên chuyến bay Gulfstream G550 đến Lư Châu.

Ngày mai lúc hai giờ chiều, công ty Tiên Công Khoa Học sẽ tổ chức buổi ra mắt sản phẩm mới tại Trung tâm Hội nghị Lư Châu, chính thức giới thiệu các mẫu sản

Nửa giờ sau, chiếc máy bay hạ cánh xuống sân bay Lư Châu Tân Kiều.

Sau đó, họ chuyển sang một chiếc Mercedes và tiến về phía một biệt thự ở khu Bao Hà.

Thêm ba mươi phút nữa, ông Hoàng mới từ từ dừng xe lại.

Trước mắt họ là một căn biệt thự ba tầng, có diện tích hơn 200 mét vuông, gồm một tầng hầm và ba tầng trên mặt đất, tổng diện tích xây dựng lên tới hơn 800 mét vuông.

Căn nhà này còn có một khu vườn rộng hơn 200 mét vuông; khác với các biệt thự ở Thành Phố Hư Cấu, nơi này không chỉ có một hồ cây cảnh mà còn có một bể bơi ngoài trời nữa.

Căn nhà được mua cách đây hai năm, nhưng Ông Trần chưa bao giờ ở đó một lần nào.

“Ông Hoàng, ngày mai lúc một giờ chiều hãy đến đón tôi nhé.”

Trần Diên Sâm nói qua loa khi bước ra khỏi xe.

“Vâng, thưa ông chủ.”

Hoàng Bá Hiển gật đầu đáp lại; anh ta ngày càng ít nói hơn, dường như đã trở thành một tài xế chuyên nghiệp thực thụ.

Chưa kịp cho Trần Diên Sâm nói thêm gì, anh ta đã tự nguyện mang chiếc vali xuống xe và đẩy nó vào cửa phòng khách.

Xong việc, anh ta quay lưng đi mất.

Trần Diên Sâm không mang theo chìa khóa, vì vậy anh ta gõ cửa.

Bên ngoài, Diệp Thu Phình đã nghe thấy tiếng động từ lâu, nhưng vì đang bận thay đồ nên chưa kịp mở cửa.

“Rầm!”

Cánh cửa bằng gỗ đàn hương được phủ lớp đồng mở ra.

“Thưa ông chủ, ông thích không?”

Thợ may Ye mặc một chiếc váy dài bằng lụa xanh, đứng thẳng người, miệng hơi mở, cắn một sợi tóc, nói với vẻ duyên dáng.

Một cái đuôi được giấu phía sau lưng cô, đung đưa liên hồi.

“Tách!”

Trần Diên Sâm vung tay đánh một cái vào mông cô Ye, rồi bước vào phòng khách và lười biếng nói: “Hãy mang chiếc vali của tôi vào trong, và chuẩn bị cho tôi bốn món ăn cùng một món canh đơn giản.”

“Được ạ.” Diệp Thu Phình ôm lấy mông mình, vâng lời một cách ngoan ngoãn.

Dù bị đánh, nhưng trong lòng cô lại cảm thấy rất vui; cô thậm chí mong muốn Trần Diên Sâm đánh mình thêm vài cái nữa…

Bởi vì Meng Jie, Tống Dung Thanh và cô đều ở Lư Châu, nhưng Trần Diên Sâm lại chọn đến nhà cô, điều đó chứng tỏ rằng ông chủ đôi khi cũng dành cho cô một sự ưu ái đặc biệt.

Diệp Thu Phình vuốt nhẹ vùng da vừa bị chụp ảnh; nụ cười trên khóe miệng của cô không thể giấu đi được.

   Cô vội vàng bước đến cửa, cúi xuống nhấc chiếc vali của Trần Diên Sâm lên.

   Trần Diên Sâm ngồi trên sofa và gửi tin nhắn cho Meng Jie cũng như Tống Dung Thanh.

   Diệp Thu Phình đặt chiếc vali xuống xong, vội vàng lấy đôi dép nam, rồi chạy đến bên cạnh Trần Diên Sâm để giúp anh ta cởi và đổi giày.

   Thấy cái đuôi của cô vẫy lia lịa, Trần Diên Sâm không nhịn được mà đưa tay ra nắm lấy.

   Lão Ye đỏ mặt, ngã ngồi xuống đầu gối của Ông Trần và nói nhẹ nhàng: “Ông chủ, nếu ông nắm lấy cái đuôi của cô ấy, tôi sẽ không còn sức để nấu ăn cho ông đâu.”

   “Vậy thì hãy ăn hải sản trước, sau đó mới ăn tối.”

   Trần Diên Sâm kéo nhẹ cái đuôi, và khuôn mặt của Diệp Thu Phình càng trở nên đỏ hơn nữa; đôi má cô như hoa hồng, đôi mắt lấp lánh ánh sáng.

   ……

   ……

   Ngày hôm sau, Lôi Dịch Quân đã đến sân bay từ sáng sớm và bay thẳng đến Lỗ Châu.

   Châu Hoàng Yì, Đinh Lỗi, Gia Diệu Đình và Ngô Hồng Tân cũng làm tương tự.

   Các hãng sản xuất điện thoại như Huawei, ZTE, Coolpad và Lenovo cũng đều cử đại diện đến dự sự kiện này.

   Hiệu suất của thiết bị Tiangong A100 đã được mọi người chứng kiến; có lẽ hiệu suất của Tiangong B100 và Tiangong C100 cũng sẽ không tồi tệ.

   Tại sao Qualcomm lại đột nhiên tấn công Tiangong Technology?

   Chẳng phải vì Trần Diên Sâm đã làm ảnh hưởng đến lợi ích của một số người sao?

   Kể từ khi Star Source Technology được thành lập, tham vọng của Senlian Capital trong ngành semiconductors đã trở nên rõ ràng: họ muốn kiểm soát cả quá trình thiết kế chip lẫn sản xuất chip.

   Nhiều người cho rằng Trần Diên Sâm quá tham lam – từ lĩnh vực chip cho đến các nhà hàng, anh ta muốn kiếm tiền từ mọi thứ; chắc chắn sẽ gặp phải rắc rối.

   Nhưng trong mắt Lôi Dịch Quân và những người khác, Trần Diên Sâm thực sự có khả năng làm được điều đó.

   Ngay cả khi đối mặt với sự đàn áp từ Qualcomm, Trần Diên Sâm vẫn xử lý mọi việc một cách dễ dàng. Anh ta đã sớm đặt hàng các máy in ảnh second-hand để đảm bảo nguồn cung chip công nghệ 28 nanomet của GlobalFoundries và UMC, đồng thời thông qua hoạt động mua sắm của Orange Technology, anh ta đã thu hút được sự hỗ trợ của MediaTek và Nvidia.

   Qualcomm?

   Trong chốc lát, họ đã trở thành những kẻ hề!