Vào giữa tháng Tám, những sự kiện như IPO của Alibaba, Thế vận hội trẻ em tại Kim Lăng, loại thép austenit 304, chiến dịch “Ice Bucket Challenge”, bộ phim “Cổ Kiếm Kỳ Thuyết” và tin tức về việc Nhân đạo tâm huyết và Feng Fei tái hợp đã trở nên cực kỳ hot.

Điều khiến người dùng mạng hoang mang là Trần Diên Sâm dường như biến mất không dấu vết, như thể chưa từng tồn tại. Lần cuối cùng anh ta xuất hiện trước công chúng là vào đầu tháng, khi tham gia lễ khai trương trường mầm non Cam.

“Ngành giáo dục mầm non có quyền lực lớn đến mức vậy sao? Ngay cả hội nghị các nhà lãnh đạo doanh nghiệp vài ngày trước, anh Sen cũng không tham gia.”

“Tôi nghe nói Trần Diên Sâm bị ai đó tấn công bí mật, bây giờ đang nằm viện ở Bệnh viện Số 6 thành phố Hàng Châu!”

“Không đúng rồi… Theo thông tin tôi được biết, Ông Trần bị bắt khi đang tham gia vào những giao dịch mua bán tình yêu, có thể phải ngồi tù ít nhất nửa tháng!”

“666! Anh bạn ở trên kia, anh nghĩ rằng hơn 1000 chuyên viên pháp lý của Senlian Capital chỉ để trang trí à? Hãy chuẩn bị đón những thư từ pháp lý đi!”

“Thật buồn cười… Những bài đăng đó được xóa nhanh thật đấy! Là do Senlian Capital can thiệp, hay là bản thân Trần Diên Sâm sợ hãi?”

“Anh Sen đã bị ám sát từ lâu rồi! Nếu tháng sau anh ta lại xuất hiện trước công chúng, chắc chắn đó chỉ là người giả mạo thôi!”

Trong khi Trần Diên Sâm đang tập trung vào việc thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và phát triển máy in ăn mòn EUV, những tin đồn về anh ta trên mạng càng ngày càng trở nên vô lý hơn.

Theo thống kê chưa đầy đủ, những cách mà Trần Diên Sâm bị giết được người dùng mạng đưa ra bao gồm nhưng không giới hạn ở việc bị bắn chết, bị xe cộ đâm phải, bị đầu độc, chết đuối, v.v.

Cuối cùng, bộ phận pháp lý của Senlian Capital đã phối hợp với các nền tảng như Weibo, Toutiao, Douyin, Kuaishou và WeChat để dập tắt những tin đồn này.

Và trong vòng một tuần, Trần Diên Sâm đã nhận được ba cuộc gọi từ ông Chen. Sau khi xác nhận con trai mình không sao, anh ta lập tức trở thành “chiến binh chống tin đồn”, lên mạng đối đầu trực tiếp với những người lan truyền tin đồn đó.

Khi biết điều này, Trần Diên Sâm không hề ngăn cản họ.

Dù sao, tranh cãi với người khác cũng giúp ngăn ngừa bệnh Alzheimer ở người cao tuổi mà.

Thời gian trôi qua nhanh chóng, và đến tối ngày 23 tháng 8.

Gió mùa hè se lạnh làm cho những cây ngọc bích tại trung tâm nghiên cứu và phát triển công nghệ Star Source rung động, lá cây xào xạc.

Tuy nhiên, trong phòng thí nghiệm cốt lõi ở phía trong, ánh sáng lại rực rỡ như ban ngày, không khí nơi đ

Khái niệm về thời gian bị làm mờ đi bởi nhiệt độ và độ ẩm ổn định; thứ duy nhất có thể cảm nhận được sự trôi qua của thời gian chính là những con số liên tục hiển thị trên màn hình phòng điều khiển.

Trần Diên Sâm mặc đồ chỉnh tề, quấn kín người, cùng với Lương Kình Tùng, Lâm Nam, Vương Tượng Triệu và Chương Diễn Kiệt đứng trước bàn điều khiển, nhìn qua lớp kính chống bức xạ dày để ngắm nhìn chiếc thiết bị khổng lồ trước mắt.

Mặc dù chiếc máy khắc quang EUV này chỉ là phiên bản mẫu Alpha, nhưng thân máy bằng kim loại vẫn phát ra ánh sáng bạc óng ánh dưới ánh đèn lạnh; vô số ống dẫn uốn lượn như các mạch máu, còn cửa sổ quan sát trong buồng cốt lõi thì phát ra ánh sáng tím nhạt.

Những rào cản kỹ thuật liên quan đến nguồn sáng EUV, hệ thống quang học và bộ phận đỡ hai tấm wafer đã được họ vượt qua một cách thành công, từng bước một.

Trong hành lang, không khí yên tĩnh đến lạ thường; chỉ có tiếng ồn rất nhỏ của hệ thống thông gió vang lên.

Các kỹ sư mặc đầy đủ trang phục vệ sinh sạch sẽ, di chuyển nhẹ nhàng xung quanh thiết bị, tiến hành các bước kiểm tra cuối cùng.

“Ông chủ, các hệ thống đã hoàn thành việc tự kiểm tra; hệ thống tạo chân không có thể được khởi động bất kỳ lúc nào,” Lâm Nam nói với giọng hơi khàn, báo cáo cho Trần Diên Sâm.

Trần Diên Sâm gật đầu và nói: “Thực hiện theo kế hoạch, dần dần tạo ra môi trường chân không cho hệ thống quang học.”

Sau khi mệnh lệnh được đưa ra, không khí trong phòng điều khiển lập tức trở nên căng thẳng.

Bộ máy bơm chân không khổng lồ bắt đầu hoạt động, phát ra tiếng gầm rú ầm ĩ.

Trên màn hình, con số biểu thị mức độ chân không bên trong hệ thống quang học liên tục giảm xuống nhanh chóng: 0,01 Pa, 0,0001 Pa, 0,000001 Pa… Họ đang tiến gần đến mức chân không cao.

Tim của tất cả mọi người đều như đang nhảy lên tận cổ họng!

Môi trường chân không tinh khiết là điều kiện tiên quyết để nguồn sáng EUV hoạt động hiệu quả; bất kỳ sự rò rỉ nhỏ nào cũng có thể khiến toàn bộ công sức trước đó bị phá hủy.

Không biết đã trôi qua bao lâu…

Bỗng nhiên, Vương Tượng Triệu hét lớn: “Mức độ chân không đã ổn định ở 0,0000006 Pa! Đã đạt đến giá trị mong đợi!”

Trong phòng điều khiển, một làn sóng reo hò nhẹ nhàng, thoải mái vang lên; ai đó nhẹ nhàng nắm chặt lòng bàn tay mình.

Bước đầu tiên đã thành công rồi!

Tại sao hệ thống nguồn sáng của máy khắc quang EUV, hệ thống quang học chiếu sáng bên trong buồng cốt lõi, hệ thống quang học tạo hình ảnh, b

Điều này là bởi vì bước sóng của ánh sáng EUV cực kỳ ngắn, nên rất dễ bị các chất, kể cả không khí, hấp thụ. Trong môi trường chân không, lượng khí phân tử hấp thụ và tán xạ ánh sáng EUV sẽ được giảm thiểu đến mức tối đa, từ đó đảm bảo rằng năng lượng từ nguồn sáng có thể được truyền hiệu quả đến hệ thống quang học tiếp theo. Nếu ở môi trường không chân không, ánh sáng EUV sẽ suy yếu đáng kể trong quá trình truyền đi, và không thể đáp ứng được yêu cầu về cường độ năng lượng cần thiết cho quá trình khắc chế. Công nghệ cốt lõi của mô-đun này được thực hiện dưới sự dẫn đầu của Zhang Yanjie, cùng với hàng chục kỹ sư thuộc Viện Nghiên cứu Máy móc Quang học Thâm Quyến. Vì vậy, anh ấy cảm thấy lo lắng hơn bất kỳ ai, sợ rằng mình sẽ gây ra sai sót và cản trở tiến độ của nhóm.

“Bật chế độ làm nóng nguồn sáng, đặt công suất ở mức thấp nhất.”

Trần Diên Sâm thông báo một cách bình tĩnh về lệnh tiếp theo.

Khoảnh khắc căng thẳng đã đến! Đây là “con thú hoang dã” đầu tiên mà Tập đoàn Khoa học & Công nghệ Tinh Nguyên đã “khuất phục” – nguồn sáng plasma được kích thích bằng phương pháp phát điện bị kiểm soát bởi từ trường (MCDE-EUV), sắp được “thức giấc”! Nếu mọi thứ diễn ra bình thường, nó sẽ sử dụng “trường điện từ” thay vì “tia laser” để kích thích và kiểm soát plasma, từ đó tạo ra ánh sáng tia cực tím sâu với bước sóng 13,5 nanomet.

Thời gian trôi qua từng giây từng phút. Trên màn hình giám sát chính, đường cong cơ bản ban đầu bỗng nhiên nhấp nhô một chút. Sau đó, một tín hiệu yếu ớt nhưng rõ ràng bắt đầu tăng lên một cách mạnh mẽ!

“Có tín hiệu rồi!” Một nhà nghiên cứu trẻ không kìm được mà hét lên, giọng nói của anh ta trở nên run rẩy vì hào hứng. Mọi người đều hiểu rõ ý nghĩa chiến lược quan trọng của chiếc máy khắc chế bằng ánh sáng EUV đầu tiên này đối với Hoa Quốc. Gần như đồng thời, thiết bị đo công suất ánh sáng EUV ở cuối đường truyền ánh sáng đã gửi về con số đầu tiên: 107 watt! Một con số mà ASML đã coi là đã bị bỏ lại phía sau, nhưng vào lúc này, nó khiến toàn bộ phòng điều khiển chìm vào sự im lặng trong chốc lát, rồi sau đó là những tiếng reo hò vui mừng dữ dội! Nhiều người vô thức ôm lấy nhau, đôi mắt họ lập tức đỏ lên. Lâm Nam cảm thấy tay mình đang run rẩy, vì vậy anh ta siết chặt lan can để buộc bản thân phải bình tĩnh lại. Còn Trần Diên Sâm thì vẫn giữ được tâm trạng ổn định; anh ta vẫy tay để dập tắt tiếng re

“Tăng mức công suất lên!” Trần Diên Sâm tiếp tục nói.

Công suất của máy khắc quang EUV trực tiếp quyết định số lượng wafer có thể được xử lý trong một khoảng thời gian nhất định; mỗi lần phơi sáng đều cần có đủ năng lượng ánh sáng EUV để kích hoạt phản ứng hóa học trên lớp chất khắc quang.

Nếu công suất nguồn sáng thấp, người ta sẽ phải kéo dài thời gian phơi sáng mỗi lần hoặc tăng số lần phát xung để đáp ứng yêu cầu về năng lượng, điều này khiến thời gian xử lý mỗi wafer tăng lên.

Chẳng hạn, một máy model 200W có thể xử lý khoảng 125 wafer mỗi giờ, trong khi máy model 250W có thể tăng lên đến 170 wafer mỗi giờ, nâng cao năng suất gần 40%.

Sự chênh lệch về công nghệ có thể rất lớn!

Hơn nữa, công suất càng cao thì chi phí khắc quang trên mỗi wafer càng thấp, và lợi thế về quy mô sản xuất cũng càng rõ rệt.

Nghe vậy, Lâm Nam lập tức tập trung tâm trí, tay phải nhanh chóng di chuột trên bảng điều khiển, ánh mắt chăm chú theo dõi màn hình điều chỉnh công suất: “Đã hiểu! Mức công suất hiện tại là 220 watt; tốc độ tăng công suất đã được điều chỉnh đến mức an toàn để tránh tình trạng plasma không ổn định.”

Trên màn hình bảng điều khiển, con số biểu thị công suất nguồn sáng bắt đầu tăng dần từ từ; mỗi lần con số thay đổi, tiếng thở của mọi người trong phòng điều khiển cũng trở nên nặng nề hơn.

137 watt, 168 watt, 214 watt…

Khi con số ổn định ở mức 220 watt, Lâm Nam lập tức quan sát đường cong đo độ ổn định của plasma bên cạnh. Đường cong màu xanh lá cây đó luôn duy trì sự ổn định, không hề xuất hiện bất kỳ đỉnh điểm bất thường hay sự giảm mạnh nào.

“Hệ thống đang hoạt động ổn định!”

“Công suất đã ổn định ở mức 220 watt; trạng thái kiểm soát plasma rất tốt, không có sự rò rỉ năng lượng nào xảy ra!”

Giọng nói của Lâm Nam lúc này vang lên mạnh mẽ hơn, đôi vai căng thẳng cũng dần được thư giãn; trên khuôn mặt anh, một nụ cười rạng rỡ, chỉ có người trong cuộc mới thấy được, hiện lên.

Là một trong những nhân viên nghiên cứu và phát triển trọng yếu của chiếc máy khắc quang EUV đầu tiên do Việt Nam sản xuất, anh thực sự xứng đáng được ghi danh vào sách giáo khoa, được phong làm viện sĩ và để lại tên tuổi trong lịch sử.

Anh nhanh chóng hít một hơi thật sâu, cố gắng kiểm soát cảm xúc của mình.

Trần Diên Sâm gật đầu nhẹ, sau đó quay đầu nhìn Chương Diên Kiệt: “Hệ thống quang học đã được điều chỉnh sao cho phù hợp; hãy kiểm tra hiệu quả đồng nhất hóa chùm sáng.”

Chương Diên Kiệt lập tứ

Những vệt sáng màu tím nhạt đều đặn phủ khắp khu vực được sử dụng để mô phỏng mặt nạ; không hề có bất kỳ vùng nào bị suy giảm cường độ ánh sáng ở rìa.

“Thầy Trần ơi, độ đồng đều của chùm sáng là 99,2%, đáp ứng yêu cầu về tính thích hợp quang học khi sử dụng công suất 220 watt; hệ thống quang học đã hoàn thành việc tự động điều chỉnh tiêu cự!” Zhang Yanjie trả lời bằng giọng vang.

Lần này, sự huyên náo trong phòng điều khiển còn rõ ràng hơn so với lúc trước. Có người lén lau nước mắt, có người lại dùng nắm tay gõ nhẹ vào mặt bàn.

Từ 107 watt lên đến 220 watt – đây không chỉ là sự tăng lên về con số, mà còn chứng minh rằng nguồn sáng MCDE-EUV của họ không chỉ có thể hoạt động hiệu quả, mà còn duy trì được sự ổn định ở công suất cao hơn. Điều này có nghĩa là khả năng sản xuất hàng loạt đã gần hơn một bước nữa.

Công suất là yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến các giai đoạn trong quy trình sản xuất! Việc thu nhỏ kích thước các linh kiện đòi hỏi phải có độ rộng và khoảng cách giữa các đường dẫn điện nhỏ hơn; điều này đòi hỏi nguồn sáng EUV phải có độ tương phản quang học cao hơn, và công suất chính là yếu tố then chốt quyết định độ tương phản đó. Công suất ổn định 220 watt đủ để đáp ứng nhu cầu sản xuất chip theo quy trình 7 nanomet.

Trần Diên Sâm gật đầu một cái, sau đó ra lệnh: “Hãy chuẩn bị cho việc kiểm tra đồng bộ giữa bàn phôi và bàn mặt nạ; đưa phôi thử nghiệm vào vị trí, và thiết lập chương trình chiếu xạ theo thông số quy trình 28 nanomet.”

Wang Xiangzhao lập tức phản hồi: “Phôi thử nghiệm đã được đưa vào vị trí chuẩn bị đối chiếu bằng cánh tay máy; bàn mặt nạ đã được lắp đặt mặt nạ mạch chuẩn 28 nanomet, và việc kiểm tra độ chính xác đồng bộ đang được thực hiện.”

Trong chốc lát, tất cả ánh mắt mọi người lại tập trung về màn hình giám sát chính. Màn hình được chia thành bốn phần: góc trên bên trái hiển thị công suất nguồn sáng và trạng thái plasma; góc trên bên phải thể hiện sự phân bố chùm sáng của hệ thống quang học; góc dưới bên trái hiển thị tọa độ thời gian thực của bàn phôi; góc dưới bên phải thể hiện quỹ đạo di chuyển của bàn mặt nạ.

Khi Wang Xiangzhao nhấn nút, hai bàn phận chính xác này nhanh chóng di chuyển; quỹ đạo di chuyển của chúng giống như hai bánh răng khít chặt vào nhau, mỗi lần điều chỉnh đều được thực hiện với độ chính xác lên đến 0,1 nanomet.

“Độ chính xác đồng bộ là 0,08 nanomet! Đã đạt tiêu chuẩn mong đợi!” Wang Xiangzhao nói.

Trần Diên Sâm

Trong cửa sổ quan sát của buồng chứa trung tâm, ánh sáng màu tím nhạt bỗng nhiên phát sáng lên rồi lại trở nên dịu nhẹ trở lại.

Ở cuối đường truyền ánh sáng, thiết bị dò đo đang liên tục cập nhật dữ liệu; trên màn hình hiện lên hàng loạt con số biểu thị “mật độ năng lượng chiếu xạ”, “độ đồng đều của độ rộng đường nét” và “độ chính xác trong việc khắc họa các đường nét trên chip”.

Mỗi con số đều đang tiến gần hơn tới mức độ chấp nhận được!

0,5 giây ấy trôi qua như một thế kỷ.

Khi âm thanh báo hiệu quá trình chiếu xạ đã hoàn tất vang lên trong phòng điều khiển, Wang Xiangchao ngay lập tức điều khiển cánh tay máy để di chuyển tấm wafer thử nghiệm ra khỏi khu vực này và đưa nó vào phòng kiểm tra.

Tất cả mọi người đều theo sau, bước chân họ trở nên vội vã hơn.

Dưới chiếc máy kiểm tra màng che EUV siêu tinh xảo, khi hình ảnh in trên tấm wafer đầu tiên xuất hiện rõ ràng trên màn hình, không khí tại hiện trường bỗng nhiên trở nên sôi động.

Những đường nét mảnh mai như sợi tơ nhện, nhưng không hề có chút gì bị đứt quãng hay mờ nhạt; đường viền của từng transistor đều được khắc họa một cách chính xác đến mức như được sao chép y hệt.

Nguyên lý hoạt động của máy in ăn mòn này giống như máy in thông thường, cũng giống như máy ảnh, chỉ là “bút vẽ” và “khung vẽ” mà nó sử dụng thì tinh xảo hơn nhiều.

“Thành công rồi! Thực sự thành công rồi!”

Wang Xiangchao thì thầm, đôi tay run rẩy, miệng cười ha hả, niềm vui xen lẫn sự hào hứng.

Không lâu sau, tiếng cười ấy dần biến thành tiếng nức nở.

Năm nay ông 59 tuổi, và đã dành phần lớn cuộc đời mình để nghiên cứu và phát triển lĩnh vực nguồn sáng EUV.

Trước đây, ông từng cảm thấy cuộc đời mình sắp đến hồi kết thúc, và cũng không còn hy vọng nào về những bước đột phá trong công nghệ nguồn sáng EUV; lòng ông đầy sự tuyệt vọng.

Nhưng ai ngờ rằng, công ty Star Source Technology lại xuất hiện vào đúng lúc này, không chỉ phá vỡ tình trạng bế tắc mà còn mang lại hy vọng mới cho việc tự phát triển máy in ăn mòn của Hoa Quốc.

Bây giờ, khi đã sản xuất được máy in ăn mòn EUV và máy gia công CNC năm trụcChú Dragon G1051, ngành công nghiệp chip và ngành sản xuất cao cấp của Hoa Quốc cuối cùng cũng không cần phải phụ thuộc vào người khác nữa!

Wang Xiangchao lau mặt, cố gắng kìm nén những giọt nước mắt hào hứng, nhưng khóe miệng ông không thể kiểm soát được và bắt đầu cười, để những giọt nước mắt ấy tuôn trào xuống khuôn mặt mình.

Trong những giọt nước mắt ấy, có sự hối tiếc của cả một nửa

Đứng giữa đám đông, Lương Kình Tùng thở dài, anh nhìn Trần Diên Sâm một cách chăm chú và trong lòng đánh giá rằng: Một thiên tài cấp độ “yêu quái”!

Cần biết rằng, hầu hết các bước đột phá công nghệ trên thế giới đều đòi hỏi sự tích lũy của nhiều thế hệ người; tuy nhiên, Trần Diên Sâm đã thành công trong việc tạo ra những giải pháp hàng đầu trong lĩnh vực công nghệ tầm trung.

Thiết kế quang học này – với công suất 220 watt, độ phân giải dưới 12 nanomet, và khẩu độ 0,33 – cho phép chứa khoảng 80 tỷ transistor trên mỗi cm vuông, đủ khả năng đáp ứng nhu cầu sản xuất các linh kiện EUV có kích thước 10 nanomet hoặc 7 nanomet.

Trần Diên Sâm mỉm cười; chiếc máy in ăn mòn EUV này chính là “tài sản then chốt” của anh. Bởi vì càng tham gia nhiều lĩnh vực, Senlian Capital càng gây ra nhiều kẻ thù; nếu không có những kỹ năng đặc biệt, làm sao có thể nhận được sự hỗ trợ đầy đủ từ cấp trên? Hơn nữa, giá bán của một chiếc máy in ăn mòn lên tới 50 đến 90 triệu đô la Mỹ, điều này mang lại lợi ích kinh tế to lớn.

Ngoài ra, Trần Diên Sâm còn có thể sử dụng cơ hội này để đào tạo một đội ngũ nhân viên chuyên sản xuất, lắp đặt, bảo trì và sửa chữa máy móc, từ đó thu được nhiều lợi ích hơn nữa.

Tuy nhiên, phiên bản thử nghiệm Alpha chỉ phù hợp cho mục đích kiểm thử nội bộ và chưa đáp ứng được các điều kiện cần thiết cho việc thử nghiệm thực tế trên wafer; do đó, phiên bản Beta sẽ được phát triển tiếp theo, đó là những thiết bị được sử dụng để kiểm thử bởi các khách hàng bên ngoài trước khi sản phẩm được tung ra thị trường. May mắn thay, Star Source Technology đã có sẵn dây chuyền sản xuất riêng; chỉ cần qua nhiều lần điều chỉnh, sửa đổi và cập nhật liên tục, cuối cùng họ sẽ tạo ra những chiếc máy in ăn mòn đáp ứng đầy đủ yêu cầu.

“Thầy Chen ơi, hãy đặt tên cho nó đi!” Zhang Yanjie đề xuất.

“Bóng tối đã tan biến, bình minh đang bắt đầu… Hãy gọi nó là ‘Bình Minh A220’ đi.” Trần Diên Sâm suy nghĩ một chút rồi nói. Chữ “A” đại diện cho chuỗi sản phẩm máy in ăn mòn của Star Source Technology, còn con số 220 thể hiện công suất đỉnh cao của nó.

Trong khi đó, Lý Thanh Tùng sau khi nhận được thông tin, lập tức cầm lấy tài liệu và vội vàng đi về phía một khu vườn bên bờ biển Nam Hải.