“Lại bị kẹt rồi à?”

Trần Diên Sâm nhìn qua email báo cáo của Lâm Nam và hơi cau mày.

Anh không ngờ rằng, dù mình đã mở đường sẵn cho họ, những người này vẫn không thể tiến lên được nữa.

Hiện tại, có hai khó khăn chính:

Thứ nhất, các tấm gương phản xạ không cầu trong hệ thống kính trung gian yêu cầu độ chính xác về hình dạng phải được kiểm soát ở mức dưới 50 picômét, và độ nhám bề mặt phải thấp hơn 0,1 nanomet theo giá trị độ lệch chuẩn phương.

Nói cách khác, điều này đồng nghĩa với việc một khu vực có kích thước bằng tỉnh Huy An phải có độ gập ghềnh không quá cao so với độ dày của một tờ giấy A4.

Độ khó có thể tưởng tượng được!

Hiện nay, trên thế giới chỉ có Đèn Tháp Quốc (Công ty Saigao) của Trung Quốc và Zeiss của Đức mới sở hữu công nghệ mài phủ bề mặt đạt tiêu chuẩn này.

Tuy nhiên, do bị hạn chế bởi Hiệp định Viena, ngay cả khi chi tiền mua công nghệ này, họ cũng không thể nhận được quyền cung cấp sản phẩm.

Trong khi đó, các viện như Đại học Công nghệ Harbin, Viện Khoa học Quốc phòng và Viện Quang máy Trường Xuân thuộc Hoá Khoa dù sở hữu công nghệ mài phủ bằng chùm ion và từ trường, về lý thuyết có thể đạt độ chính xác ở cấp độ nguyên tử, nhưng thực tế lại còn xa so với lý thuyết.

Điều này giống như việc hỏi liệu có thể sản xuất được động cơ xe đua F1 tại trong nước hay không?

Theo lý thuyết, Hoa Quốc hoàn toàn có thể tìm được những nhà máy sản xuất piston và xi-lanh kim loại, và cũng hiểu rõ nguyên lý chế tạo động cơ đốt trong.

Nhưng động cơ xe đua F1 không chỉ là sự kết hợp đơn giản của các bộ phận riêng lẻ; đó là sự tích hợp của nhiều công nghệ tiên tiến như vật liệu học, gia công chính xác, nhiệt động lực học và hệ thống điều khiển điện tử, với các tiêu chuẩn về tốc độ quay, hiệu suất nhiệt và độ tin cậy đạt mức cao nhất trong ngành.

Điều này cho thấy, dù hiểu biết về nguyên lý kỹ thuật là điều kiện cần thiết, nhưng để áp dụng chúng vào thực tế sản xuất ổn định, vẫn còn nhiều rào cản khó vượt qua.

Biết là một chuyện, nhưng thực sự sản xuất ra được thì lại là chuyện khác.

Thứ hai, sau khi hoàn thành việc mài phẳng các tấm gương, cần phải phủ lên bề mặt 40 đến 60 lớp màng xen kẽ giữa molypden và silicon, và độ sai lệch của độ dày mỗi lớp phải được kiểm soát ở mức nguyên tử.

Mặc dù nhiều viện nghiên cứu trong nước đã nắm giữ công nghệ phun màng bằng từ trường, nhưng về mặt độ đồng đều và độ tinh xảo, vẫn chưa đáp ứng được yêu cầu của máy in ấn EUV.

Ngoài ra, việc đo lường đ

Khả năng kiểm tra chính là yếu tố quyết định mức độ hoàn thiện của quá trình đánh bóng.

Vào năm 2014, các thiết bị và công nghệ kiểm tra trong lĩnh vực giao thoa cường độ cao, đặc biệt là những công nghệ dùng cho bước sóng EUV, vẫn không thể đạt được độ chính xác đo lường lên đến 50 picomet.

Trong khi đó, Lâm Nam cùng với hơn một trăm kỹ sư nghiên cứu phát triển khác, đã là những người xuất sắc trong lĩnh vực quang học. Những việc mà họ cũng không thể giải quyết được, thì việc tìm người khác cũng rất khó có thể mang lại kết quả tích cực.

Họ đã cố gắng hết sức, nhưng khả năng của họ vẫn có hạn.

Trần Diên Sâm hiểu rõ rằng, nếu ông không can thiệp, cuộc chiến nghiên cứu khoa học này chắc chắn sẽ trở thành một trò cười.

Sau một chút suy nghĩ, ông yêu cầu Lâm Nam gửi về cho mình các tài liệu kỹ thuật liên quan đến các phương pháp đánh bóng bằng chùm ion, phương pháp đánh bóng bằng dòng từ trường và phương pháp phun sputter điện từ.

Đồng thời, tại Trung tâm Nghiên cứu Phát triển Quang học của Công ty Khoa học & Công nghệ Tinh Nguyên ở Thành phố Hồ, Lâm Nam đứng trước bàn thí nghiệm, đôi mắt đỏ hoe, vẻ mặt u ám.

Wang Xiangchao ngồi bên cạnh, vỗ vai Lâm Nam và nói: “Đừng lo lắng quá. Chắc chắn sẽ có cách giải quyết thôi. Một khi chúng ta đã có đầy đủ kế hoạch, thì việc giải quyết các vấn đề kỹ thuật cũng không phải là điều khó khăn.”

Một chuyên gia từ Viện Cơ khí Quang học Thành phố Hồ cũng gật đầu đồng tình: “Trước đây, chúng ta không cần độ chính xác đo lường ở mức picomet, vì vậy tiến độ nghiên cứu cũng chậm hơn. Nhưng bây giờ thì khác rồi. Chỉ cần giải quyết được vấn đề liên quan đến các gương phản xạ không đối xứng trong hệ thống chiếu sáng, thì hệ thống quang học của máy in ấn chip EUV này coi như đã giải quyết được một nửa trong số các công nghệ cốt lõi cần thiết.”

Dù vậy, bầu không khí trong phòng thí nghiệm vẫn không hề được cải thiện.

Lâm Nam cười khổ và chỉ vào báo cáo kiểm tra trên bàn: “Tôi hiểu rõ lý thuyết, nhưng thực tế thì sao? Độ chính xác đo lường của các thiết bị của chúng ta mới chỉ ở mức sub-nano mà thôi; chúng ta thậm chí còn không biết liệu độ chính xác hình dạng bề mặt có đủ hay không.”

Điều này giống như việc đi trong bóng tối, không biết hướng đi có đúng hay không… Làm sao có thể cải thiện được?

Một kỹ sư trẻ từ Viện Quang điện Yên Kinh nói với giọng nói run rẩy, đầy tuyệt vọng: “Chẳng lẽ nếu không có sự hỗ trợ kỹ thuật từ nước ngoài, chúng ta sẽ không thể sản xuất ra các bộ ph

“Không có chút kiên nhẫn nào sao?”

Vang Tượng Triều đứng dậy một cách quả quyết và phản bác: “Chỉ trong vòng một tháng, chúng ta đã xây dựng được phương án cho hệ thống chiếu sáng này; điều này chứng tỏ rằng hướng tiếp cận của chúng ta là đúng đắn.”

Tôi đã trao đổi kỹ lưỡng với các chuyên gia từ Trung tâm Cơ khí Quang học Trường Xuân và Yên Kinh. Tiếp theo, chúng ta sẽ cùng nhau tiến hành công việc: trước hết, chúng ta sẽ tập trung vào giải quyết vấn đề liên quan đến hệ thống thấu kính chiếu. Sau khi công nghệ đánh bóng và phủ lớp đạt tiêu chuẩn, chúng ta sẽ tích hợp tất cả các kỹ thuật lại với nhau và chắc chắn sẽ vượt qua được rào cản này.”

Lời nói của anh ấy như một liều thuốc tăng lực, giúp không khí u ám trong phòng thí nghiệm trở nên ấm áp hơn một chút.

Lâm Nam hít một hơi thật sâu, sau đó đứng dậy và nói: “Ông Vang nói đúng. Chúng ta hãy tuân theo phân công công việc và tập trung vào thiết kế đường quang học cho hệ thống thấu kính chiếu.”

Các chuyên gia từ Trung tâm Cơ khí Quang học Thành Hồ ngay lập tức lấy ra các bản vẽ và chỉ ra cấu trúc đường quang học phức tạp trên đó: “Thấu kính chiếu cần phải tập trung chính xác chùm sáng từ hệ thống chiếu sáng lên wafer, đồng thời loại bỏ mọi loại sai lệch quang học. Điều này đòi hỏi độ chính xác về độ cong của thấu kính cao hơn cả so với gương phản chiếu.”

“Hệ thống đường quang học mà chúng ta đã thiết kế trước đây vẫn còn tồn tại sai lệch quang học lên đến 0,5 arcsecond trong môi trường mô phỏng; chúng ta cần phải tối ưu hóa nó thêm nữa.”

Vang Tượng Triều tiến lại gần bản vẽ và bổ sung: “Tôi đã tìm hiểu thông tin và biết rằng thấu kính chiếu của Zeiss sử dụng đến 15 tấm thấu kính siêu chính xác, với độ lệch hình dạng của mỗi tấm được kiểm soát trong khoảng 20 picomet. Nếu chúng ta có thể giảm sai lệch quang học xuống dưới 0,2 arcsecond và hoàn thiện các công đoạn sản xuất tiếp theo, có lẽ chúng ta sẽ có thể đạt tới trình độ của họ.”

Nhóm người bắt đầu thảo luận sôi nổi hơn và lập tức tập trung vào công việc của mình xung quanh các bản vẽ và máy tính.

Vang Tượng Triều chịu trách nhiệm điều chỉnh các tham số mô phỏng đường quang học, trong khi Lâm Nam dẫn đầu nhóm người tính toán mối quan hệ giữa độ cong của thấu kính và sai lệch quang học. Những nhân viên nghiên cứu và phát triển còn lại cũng nhanh chóng gạt bỏ những cảm xúc tiêu cực trước đó và tập trung vào công việc của mình.

……

……

Sáng hôm sau, Trần Diên Sâm gọi điện cho Đào Tĩnh Văn và nhờ vào mối quan hệ của __TERM

Khi Liu Fengjun và những người khác bước vào phòng thí nghiệm quang điện của Đại học Khoa học và Công nghệ Lư Châu, họ vừa kịp nhìn thấy Trần Diên Sâm đang thay đồ sạch và đeo găng tay cao su chống bụi cùng khẩu trang bảo vệ.

Anh ấy không phải là người sáng lập công ty Senlian Capital sao? Tại sao lại có mặt trong phòng thí nghiệm?

“Thưa ông Liu, rất vui được gặp ông!” Trần Diên Sâm dừng lại các hoạt động đang thực hiện, tiến về phía Liu Fengjun và giơ tay ra chào.

“Xin chào ông Chen,” Liu Fengjun đáp. Mặc dù trong lòng anh có rất nhiều câu hỏi, nhưng anh không thể đặt chúng ra ngay lập tức.

Trần Diên Sâm là một nhà nghiên cứu cấp cao thuộc nhóm gia công siêu tinh xảo của Học viện Khoa học Quốc phòng, sở hữu bằng tiến sĩ và trí tuệ xuất sắc. Với những phẩm chất như vậy, chắc chắn anh ta sẽ không nói ra những lời thiếu tế nhị.

“Phòng thí nghiệm vừa mới điều chỉnh xong máy mài bằng chùm ion; may mắn thay các bạn đã đến, chúng ta cùng xem qua các thông số đi.” Trần Diên Sâm thu tay lại, chỉ về phía màn hình điều khiển bên cạnh – nơi các dữ liệu đang hiển thị liên tục – rồi tiếp tục nói: “Tôi đã xem những phiên bản thô của tấm gương được sản xuất tại Thành phố Hồ. Độ tinh khiết của vật liệu silicon là đủ; tuy nhiên, sai số hình dạng ban đầu vẫn còn 3 nanomet, vì vậy cần phải tiến hành quá trình mài bằng từ trường để xử lý trước.”

Liu Fengjun nhìn chăm chú vào màn hình, tim anh đập thình thịch. Anh vô thức tiến lại gần màn hình và để ý đến các thông số liên quan đến quá trình mài bằng từ trường. Điều khiến anh ngạc nhiên là trên màn hình không chỉ được liệt kê rõ ràng tỷ lệ hỗn hợp hạt của dung dịch mài ở các tốc độ khác nhau, đường cong biến thiên cường độ từ trường, mà còn có ghi chú rõ ràng yêu cầu “sai số sau quá trình xử lý phải được kiểm soát trong khoảng 500 picomét”.

“Ông Chen, ông đã tính toán trước đó về đường cong giải phóng ứng suất của vật liệu silicon chưa?” Liu Fengjun không nhịn được mà hỏi.

Bởi vì ai cũng biết rằng trong quá trình mài tấm gương bằng silicon, do sự tích tụ ứng suất, các tấm gương này sẽ bị biến dạng nhỏ; đây chính là một trong những vấn đề khó giải quyết nhất trong lĩnh vực gia công siêu tinh xảo, và cũng là rào cản kỹ thuật mà nhiều trường đại học và viện nghiên cứu ở Trung Quốc vẫn chưa thể vượt qua được.

Và bây giờ, họ lại tìm thấy giải pháp cho vấn đề này ngay tại đây.

Liu Fengjun đã nghiên cứu lĩnh vực này trong nhiều năm; chính vì am hiểu sâu sắc về nó mà anh mới nhận ra được bao nhiêu sự tinh tế và thông minh ẩn đằng sau những con số đó.

__TERM

“Tiểu Vương, hãy điều chỉnh máy mài bằng dòng từ theo các thông số này, trước tiên hãy đo đạc sự phân bố ứng suất trên tấm vật liệu thô đầu tiên.”

Lưu Phong Tuấn quay đầu ra lệnh cho những nhà nghiên cứu đứng phía sau, giọng anh ta mang đầy vội vàng khó kiềm chế được.

Trần Diên Sâm không nói thêm gì nữa, rồi quay người đi về phía chiếc thiết bị khác.

Trong những ngày tiếp theo, Lưu Phong Tuấn luôn theo sát Trần Diên Sâm, hoàn toàn đóng vai trò của một sinh viên, trợ lý và người hỗ trợ anh ta trong công việc.

Càng tìm hiểu sâu hơn, anh ta càng nhận ra được tài năng phi thường của Trần Diên Sâm trong lĩnh vực gia công siêu tinh xảo.

Ngày xưa, Lưu Phong Tuấn cũng là người đứng đầu kỳ thi đại học, và đã được nhận vào lớp học dành cho thanh thiếu niên tại Đại học Khoa học Quốc phòng; anh ta được coi là một thiên tài nghiên cứu khoa học trong số những người cùng tuổi. Nhưng trước mặt Trần Diên Sâm, anh ta cảm thấy mình nhỏ bé như con kiến so với bầu trời cao rộng.

Trần Diên Sâm mỗi ngày chỉ ở lại Đại học Khoa học Lư Châu có hai giờ, phần lớn công việc đều do Lưu Phong Tuấn và nhóm người khác đảm nhận.

Họ đã phát triển công nghệ ghép nối các lỗ có đường kính nhỏ, sau đó áp dụng công nghệ hologram tính toán, và nhờ trang bị kính hiển vi nguyên tử cùng thiết bị tán xạ quang học, họ đã nhanh chóng nâng độ chính xác của các phép đo lên mức picomet.

Khi tin tức này được lan truyền, tất cả mọi người tại trung tâm nghiên cứu và phát triển của bộ phận quang học ở Thượng Hải đều cảm thấy hứng thú và phấn khích.

Dù sao thì với những công cụ đo lường này, việc cải tiến quy trình sản xuất đã có hướng đi rõ ràng hơn.

Mặt khác, tại Đại học Thanh Hoa, Trung tâm Nghiên cứu và Phát triển Thiết bị của Hiệp hội Hoá Khoa và Tập đoàn Công nghệ Vi điện tử Bắc Phương, sau khi nhận được phiên bản mới nhất của công nghệ phun sputter điều khiển từ trường, họ ngay lập tức bắt đầu công việc nghiên cứu và phát triển vật liệu mục tiêu cũng như thiết bị phủ màng.

Tuy nhiên, ngay từ giai đoạn đầu, họ đã gặp phải trở ngại lớn liên quan đến độ tinh khiết và tính đồng nhất của cấu trúc vi mô của vật liệu molypden silicon.

Sau khi biết được điều này, Trần Diên Sâm đã kết hợp công nghệ ép nén nhiệt trong chân không với công nghệ làm đặc bằng plasma, và ngay lập tức giải quyết được những vấn đề liên quan đến độ tinh khiết và cấu trúc của vật liệu mục tiêu.

Khi rào cản này được loại bỏ, quá trình nghiên cứu và phát triển tiếp theo diễn ra vô cùng thuận lợi.

Tiến độ nghiên cứu và phát triển hệ thống chiếu sáng đã tăng vọt!