Trong phòng máy rộng rãi và sáng sủa này, chiếc máy khắc quang vi ba tia cực tím đầu tiên được đặt ở vị trí trung tâm, không nghi ngờ gì nữa, đó chính là tâm điểm của toàn bộ buổi lễ. Trên màn hình lớn ở bức tường phía trước, phía trên cùng treo một tấm biểu ngữ màu đỏ, trên đó in dòng khẩu hiệu:

“Chúc mừng cuộc thử nghiệm xác nhận chức năng liên kết toàn hệ thống thành công viên mãn.”

Ngoài tổng thiết kế Từ Minh, hai giáo sư Hạ Pengtao và Đinh Thuận An, cùng các nhà nghiên cứu thuộc dự án thiết bị điện tử vi mô, buổi lễ còn có sự tham gia của các lãnh đạo từ Công ty Khoa học và Công nghệ Hoa Thiên, cùng nhiều giáo sư và chuyên gia khác. Tất cả họ tập trung tại đây hôm nay chỉ để cùng chứng kiến sự trỗi dậy của ngành sản xuất chip cao cấp quốc gia.

Rất nhiều người trong số họ đã tham gia vào một hoặc nhiều khâu của dự án này. Kết quả cuối cùng sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến họ, và họ coi đó là niềm tự hào lớn lao.

Mọi người đều đang nín thở chờ đợi kết quả.

Nhưng ngược lại, Chủ tịch Viện Hàn lâm Khoa học Ngụ Gao Viễn lại hoàn toàn đặt mình vào vị trí người xem, hầu như không nói gì suốt buổi lễ và ít khi tham gia thảo luận. Ông giao toàn bộ quyền lực điều hành cuộc thử nghiệm cho tổng thiết kế Từ Minh.

Trong lòng, ông chỉ mong muốn cuộc thử nghiệm này sẽ thành công viên mãn.

Khi ánh mắt quay lại phía Từ Minh, ông đã nhận lấy bản dữ liệu kiểm tra mới nhất từ ông Hạ và bắt đầu xem xét nó một cách cẩn thận.

Từ khi công ty Newthink ở nước ngoài và công ty thiết bị bán dẫn ASML cùng thông báo sẽ ra mắt loại máy khắc quang vi ba tia cực tím mới cùng các công cụ EDA tương ứng vào năm sau, đã trôi qua hơn ba tháng.

Không ai có thể ngờ rằng, trong vòng chưa đầy ba tháng ngắn ngủi này, chiếc máy khắc quang vi ba tia cực tím đầu tiên đã được lắp ráp xong.

Hệ thống nguồn sáng sử dụng công nghệ mới nhất và hệ thống ống kính làm việc đã được tích hợp hoàn chỉnh.

Trong những ngày vừa qua, với việc điều chỉnh và tối ưu hóa liên tục gần 24 giờ mỗi ngày, chiếc máy này đã đáp ứng được các tiêu chuẩn thực tế cho cuộc thử nghiệm.

Dựa trên những thông tin này, nhóm lãnh đạo chuyên trách ngành sản xuất chip quốc gia đã quyết định tiến hành cuộc thử nghiệm xác nhận chức năng liên kết toàn hệ thống vào hôm nay.

“Không vấn đề gì.” Từ Minh nói và trả lại tập dữ liệu cho người khác.

Hạ Pengtao nhận lấy và cười nói: “Mọi người đã chờ đợi ngày này rất lâu rồi, và giờ đây, điều đó cuối cùng cũng sẽ trở thành sự thật.” Sau khi nói xong, có v

Ngay từ mười năm trước, quốc gia đã ban hành kế hoạch phát triển khoa học và công nghệ trung và dài hạn, xếp công nghệ sản xuất các mạch tích hợp quy mô cực lớn cùng với bộ quy trình sản xuất tương ứng vào vị trí đầu tiên trong danh sách 16 dự án khoa học và công nghệ trọng điểm của quốc gia. Điều này cho thấy sự quan tâm thực sự đối với công nghệ sản xuất chip, cùng với sự hỗ trợ tài chính liên tục và lớn lao.

Ông được bổ nhiệm làm người chịu trách nhiệm chính của dự án, tập trung nghiên cứu và phát triển máy khắc quang trong nước tại Viện Cơ khí Quang học. Mặc dù sau nhiều năm đã đạt được những thành tựu nhất định, nhưng so với công ty ASML của nước ngoài, vẫn còn tồn tại khoảng cách lớn về mặt công nghệ. Lúc bấy giờ, quan điểm chủ đạo trong ngành là trong vòng hai mươi năm tới, rất có thể sẽ không thể theo kịp được. Xét về một khía cạnh nào đó, việc này còn phức tạp và khó khăn hơn cả việc chế tạo máy bay chiến đấu. Đối với bất kỳ ai thuộc Viện Cơ khí Quang học, việc chứng kiến máy khắc quang trong nước phát triển mạnh mẽ và thực hiện được việc tự chủ sản xuất chip cao cấp chính là ước mơ chân thành và giản dị nhất của tất cả mọi người. Ông Hạ Phong Đào cũng không ngoại lệ.

Và bây giờ, nhờ vào Từ Minh – một chàng trai trẻ tuổi chưa đầy ba mươi tuổi – công nghệ sản xuất các mạch tích hợp quy mô cực lớn của quốc gia đã đạt được những bước tiến vượt bậc. Những ước mơ trước đây cuối cùng cũng đã trở thành hiện thực, và ông có thể chứng kiến tận mắt điều đó. Tất nhiên, cảm xúc của con người lúc này sẽ tràn ngập niềm vui và xúc động. Đó là điều hoàn toàn bình thường.

“Cứ yên tâm đi, Hạ ạ. Dự án ‘Truy Sáng’ của chúng ta chắc chắn sẽ vượt qua mọi thử thách,” Đinh Thuận An nói, kịp thời chuyển hướng câu chuyện để giúp Hạ Phong Đào bình tĩnh lại. Là những người tham gia nghiên cứu và phát triển dòng máy khắc quang “Truy Sáng”, họ giống như những người cha mẹ nuôi dưỡng con cái mình lớn lên. Họ hoàn toàn hiểu rõ mức độ thành thạo của “đứa con” mình. Mặc dù việc kiểm tra thực tế trên wafer vẫn chưa bắt đầu, nhưng họ cũng có những dự đoán về kết quả cuối cùng. Từ Minh vẫn giữ được sự bình tĩnh, lắng nghe cuộc trò chuyện giữa Hạ Phong Đào và Đinh Thuận An. Dù muốn nói những lời an ủi để giúp họ yên tâm hơn, nhưng cuối cùng ông cũng im lặng. Về máy khắc quang cực tím “Truy Sáng” và công cụ thuật toán EDA “Xuân Kỳ”, ông hoàn toàn tin tưởng vào khả năng của chúng

Đúng lúc này, Viện Hóa học thuộc Học viện Khoa học đã đạt được những bước tiến mới trong nghiên cứu về loại chất keo quang khắc sản xuất trong nước. Vì vậy, họ quyết định tiến hành kiểm tra thử nghiệm sớm hơn dự kiến. Dù sao thì, từ góc độ hiện tại, thời gian còn lại cho các công ty trong nước thực sự rất ít; chúng ta phải nỗ lực hết sức để cùng với ASML giới thiệu máy quang khắc tia cực tím, nhằm giảm thiểu đến mức tối đa những tổn thất có thể xảy ra đối với ngành công nghiệp này. Với suy nghĩ đó, ông ấy bình tĩnh nói ra một câu: “Hãy bắt đầu làm việc đi. Chúng ta sẽ sớm biết kết quả của cuộc kiểm tra thử nghiệm này.” Ngay sau khi câu nói vang lên, He Pengtao và Ding Shunan bên cạnh ông cũng ngừng nở nụ cười trên mặt, thay vào đó là vẻ mặt nghiêm túc và tập trung. Họ gật đầu và đi về phía khu vực làm việc của mình, chỉ đạo các nhà khoa học điều chỉnh thiết bị để chuẩn bị cho cuộc kiểm tra thử nghiệm. Theo thời gian trôi qua, không khí trong phòng thí nghiệm dần trở nên căng thẳng đến mức gần như ngột thở. Ngay cả những người ở bên ngoài như Yu Gaoyuan cũng cố gắng kiềm chế hơi thở của mình, sợ rằng bất kỳ tiếng động nào cũng có thể gây ra sự cố trong cuộc kiểm tra thử nghiệm hôm nay. Không biết đã trôi qua bao lâu, bỗng nhiên Pan Yao đứng trước bàn điều khiển thông báo với Từ Minh: “Báo cáo với Tổng giám đốc Xu, thiết bị đã được điều chỉnh xong, có thể bắt đầu kiểm tra thử nghiệm bất kỳ lúc nào.” Ngay sau đó, Su Zhenhao – người chịu trách nhiệm tối ưu hóa hệ thống Xuanji – cũng ngừng làm việc và báo cáo tiến độ công việc: “Việc tối ưu hóa hệ thống Xuanji đã hoàn thành.” Nghe vậy, Từ Minh đứng dậy khỏi ghế, liếc nhìn Pan Yao và Su Zhenhao, sau đó nhìn sang He Pengtao và Ding Shunan. Sau một khoảnh khắc trao đổi ánh mắt, ông lập tức đưa ra lệnh quan trọng: “Bắt đầu đi.” “Vâng, Tổng giám đốc Xu,” Pan Yao và Su Zhenhao đồng thời đáp lại. Ngay lập tức, tất cả các nhà khoa học lại tiếp tục lao vào công việc với sự tập trung cao độ. Lần kiểm tra thử nghiệm này sử dụng một con chip thử nghiệm đặc biệt, không chứa các chức năng phức tạp; bản thiết kế của con chip này được tạo ra bởi phần mềm hệ thống Xuanji. Bao gồm các mẫu kiểm tra độ phân giải, các dấu hiệu đánh dấu độ chính xác trong quá trình khắc, các cơ cấu kiểm tra điện tính, và các hình ảnh giám sát đặc biệt. Không lâu sau đó…

Bên ngoài phòng sạch cực cao, Từ Minh cùng với nhóm nghiên cứu khoa học, thông qua cửa sổ quan sát, chứng kiến tấm silicon đầu tiên được đưa vào máy khắc quang vi mô bằng ánh sáng cực tím. Bầu không khí lúc này trở nên nghiêm túc và đầy kỳ vọng.

Khi quy trình kiểm tra toàn bộ hệ thống và sản xuất mẫu thử bắt đầu, mọi người đều tuân thủ nghiêm ngặt theo các thông số kỹ thuật doTuynh Kỳ cung cấp và các tiêu chuẩn của máy khắc quang vi mô bằng ánh sáng cực tím. Quá trình này cũng đòi hỏi thời gian; sau khi wafer được sản xuất xong, cần tiến hành các cuộc đo lường quang học và kiểm tra bằng kính hiển vi điện tử.

Có lẽ vì thấy bầu không khí quá nghiêm túc, Yu Gaoyuan – người từ đầu đến cuối chưa lên tiếng – cuối cùng cũng mạnh dạn bắt đầu nói:

“Thật là hồi hộp và gay cấn… Không biết đã bao lâu rồi tôi mới trải qua cảm giác như thế này.”

Anh nói điều đó với giọng điệu thoải mái và nụ cười trên mặt, mang lại sự thay đổi trong bầu không khí căng thẳng của mọi người.

“Mọi người thực sự đang chịu áp lực lớn.” Hè Pengtao gật đầu đồng ý.

Ngay sau đó, Giáo sư Chu Qishen thuộc Viện Hóa học của Học viện Khoa học cũng lên tiếng: “Với sự có mặt của thiên tài như Tổng chỉ huy Từ Minh, tôi tin chắc rằng máy khắc quang vi mô bằng ánh sáng cực tím này chắc chắn sẽ tạo ra những họa tiết hoàn hảo trên các lớp wafer.”

Ông nhỏ hơn Hè Pengtao và Đinh Thuận An vài tuổi, nhưng trong lĩnh vực thiết kế phân tử các chất axit quang học và nhựa, cũng như nghiên cứu về cơ chế tổng hợp và tác động của chúng, ông đang đứng đầu trong nước. Ông đã đóng góp quan trọng cho sự phát triển của ngành vật liệu hóa học quốc gia.

Trong lần tích hợp các nguồn lực trong nước để thành lập Trung tâm Nghiên cứu và Phát triển Công nghệ Sản xuất Mạch tích hợp Quốc gia này, Viện Hóa học nơi ông công tác cũng được bao gồm trong khuôn khổ tổ chức này. Viện này chịu trách nhiệm nghiên cứu và phát triển loại keo khắc quang vi mô cao cấp nhập khẩu.

Đáng chú ý là Từ Minh – người am hiểu sâu rộng về toán học, vật lý và thậm chí là lĩnh vực thông tin – nhờ vào năng lực và tài năng của mình, đã dẫn dắt nhóm phát triển phần mềm thiết kế máy khắc quang vi mô và wafer, giúp quá trình công nghệ được thúc đẩy nhanh chóng. Chính vì vậy, thường xuyên có tin tức về những tiến triển mới được đăng tải trên mạng.

Điều này chắc chắn đặt ra áp lực lớn đối với nhóm nghiên cứu keo khắc quang vi mô của họ. Họ chỉ có thể dựa vào chính bản thân mình, nỗ lực hết sức để đảm bảo rằng việc phát

Và đúng lúc ông ấy đang suy nghĩ hối hả, liên tục nghĩ về kết quả của quá trình thử nghiệm trên chip, bỗng nhiên giọng nói quen thuộc của Từ Minh vang lên bên tai ông.

“Điều chúng ta cần xem không phải là liệu có thể tạo ra được hình ảnh hay không, mà là sự chênh lệch giữa thực tế và dự đoán – cụ thể là có bao nhiêu nguyên tử.” Từ Minh nhìn vào Giáo sư Chu Khởi Sâu với vẻ nghiêm túc, yêu cầu đối với dữ liệu từ quá trình thử nghiệm này cao hơn nhiều so với những người có mặt tại hiện trường.

Nếu như mục tiêu của những người khác là công nghệ sản xuất chip, nhằm theo kịp các thiết bị của ASML…

Thì mục tiêu của ông ấy lại là vượt qua họ.

Hơn nữa, sau khi đã bỏ ra rất nhiều công sức và tâm huyết, việc đạt được điều này hoàn toàn không phải là điều bất khả thi.

Yu Gaoyuan hiểu rõ Từ Minh hơn bất kỳ ai có mặt tại hiện trường. Nghe thấy những lời này, ông lập tức đáp lại: “Nhờ có lời nói của anh, tôi càng mong chờ kết quả của quá trình thử nghiệm này hơn nữa… Có vẻ như chúng ta sẽ lại được chứng kiến những bất ngờ đấy.”

Cuộc trò chuyện giữa mọi người không kéo dài lâu, và họ nhanh chóng bị cuốn hút bởi quá trình thử nghiệm trên chip.

Việc chứng kiến chiếc máy khắc quang cực tím sử dụng hoàn toàn công nghệ trong nước đang hoạt động, đã làm tăng thêm tinh thần chiến đấu của toàn đội ngũ.

Bởi vì toàn bộ quá trình thử nghiệm, bao gồm các công đoạn khắc quang, etch và lắng đọng, đều được giám sát chặt chẽ, nên thường phải mất vài tuần mới hoàn thành.

Trước tình hình này, mọi người đều quyết tâm ở lại tại trung tâm thiết bị điện tử vi mô, để có thể nhìn thấy kết quả thử nghiệm ngay lập tức, và chứng kiến khoảnh khắc mang tính bước ngoặt trong lịch sử sản xuất chip của đất nước.

Rất nhanh thôi, tháng cuối cùng cũng đến.

Kỳ thi đại học kết thúc, điểm số của các thí sinh dần được công bố, và những người sắp trở thành sinh viên đại học bắt đầu điền vào phiếu đăng ký ngành học mình yêu thích.

Nếu như vào thời điểm này tham gia các sự kiện tuyển sinh được tổ chức khắp nơi, sẽ thấy rằng gian hàng của Yến Đại hầu như không có bất kỳ sinh viên hay phụ huynh nào ghé thăm, nhưng ngược lại, các giáo viên tuyển sinh từ các trường khác như Qinghua lại cảm thấy rất ghen tị.

Không thể làm gì khác được.

Có câu nói: “Bóng của cây cối, danh tiếng của con người.”

Dưới cái bóng vang dội của Từ Minh, Yến Đại đã trở thành trường đại học hàng đầu cả nước, hoàn toàn vượt xa các trường khác như Qinghua.

Ngay cả khi nhìn ra thế giới bên ngoài, vị trí xếp hạng của Yến Đại【Đại Học Yến】 cũng đang tăng lên một cách rõ rệt, hàng năm. Đặc biệt là các khoa học được mệnh danh là “những viện điên”. Với những yếu tố này, những sinh viên có cơ hội vào Yến Đại【Đại Học Yến】 chắc chắn sẽ không do dự hay phân vân gì cả. Vì vậy, họ cũng không cần thiết phải tham gia những hoạt động như thế này. Trước vài năm, Từ Minh đôi khi còn giúp đỡ trong công tác quảng bá tuyển sinh cho trường, bởi vì trong số rất nhiều danh hiệu mà ông ấy sở hữu, danh hiệu đầu tiên chính là “giáo sư khoa học Yến Đại【Đại Học Yến】”. Tuy nhiên, năm nay thì chắc chắn ông ấy không còn thời gian để làm điều đó nữa.

Vào ngày 27 tháng 6, thứ Ba, tại trụ sở của Tập đoàn Thiết bị Điện tử Vi mô. Hôm nay, phòng thí nghiệm đo lường quang học đang rất nhộn nhịp hơn bao giờ hết, đặc biệt là về số lượng người tham gia. Bởi vì có đến hơn mười người đã tập trung lại trong căn phòng này, và gần một nửa trong số họ là các nhà khoa học uy tín. Những tấm wafer được sử dụng cho quá trình sản xuất đã được chế tạo xong và được đưa vào phòng thí nghiệm đo lường quang học để tiến hành các cuộc đo lường quan trọng cùng với kiểm tra bằng kính hiển vi điện tử. Những dữ liệu thu được từ các cuộc kiểm tra này sẽ giúp xác định chi tiết về chất lượng của các tấm wafer và tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh. Mọi người ở đây đều muốn biết kết quả ngay lập tức. Mặc dù căn phòng không quá rộng lớn, mọi người đều ngồi sát nhau, nhưng không khí trong phòng lại rất yên tĩnh. Mọi người đều giữ im lặng, không ai dám là người đầu tiên phá vỡ sự im lặng này. Rõ ràng, tâm trạng của mọi người đều rất lo lắng. Cho đến khi bỗng nhiên có tiếng gõ cửa vang lên bên ngoài, khiến mọi người đều ngẩng đầu nhìn ra, và nhịp tim của họ dường như đều tăng lên nhanh hơn. Giám đốc trường, ông Nguyễn Cao Viễn – người luôn bình tĩnh – cũng là người đầu tiên lên tiếng: “Mời vào.” Người nghiên cứu khoa học mặc đồng phục thí nghiệm bước vào phòng, cầm trên tay một bản báo cáo mới được soạn thảo xong, và ngay khi bước vào phòng, anh ta đã vội vàng báo cáo kết quả: “Giám đốc Từ Minh, các vị nhà khoa học kính mến… Kết quả đo lường quang học của các tấm wafer đã được công bố…” “Cứ nói thẳng ra đi,” Từ Minh lập tức nói, ngắt lời anh ta. Người nghiên cứu khoa học đó cũng không chần chừ, chỉ dừng lại một giây rồi bắt đầu trình bày chi tiết các con số trong báo cáo: “Theo kết quả đo lường, độ phân giải ánh sáng hoàn